[发明专利]一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶

说明书

本发明涉及一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，包括瓶体，瓶体包括瓶颈、瓶身，瓶颈的外侧上设有瓶把手，瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖，瓶盖上设有瓶盖锁装置，瓶盖锁装置包括气缸销，气缸销通过气缸销座固定在瓶盖的边沿上，气缸销包括气缸、锁销，气缸推动锁销向下伸出与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的接触锁定瓶盖状态，气缸推动锁销向上缩回与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的非接触解锁瓶盖状态。本发明采用瓶盖锁锁定瓶盖，防止操作人员错换光阻剂，具有能避免操作失误导致事故的特点。

技术领域

本发明涉及一种光阻瓶，特别涉及一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶，属于光阻剂容器领域。

背景技术

光阻剂是一种光敏材料，应用于光刻技术，在材料表面刻上一个图案的被覆层。现行比较常见的光阻瓶是设有瓶盖的玻璃瓶，瓶盖上安装进气管、出液管，进气管向瓶内施压，光阻液剂从出液管输出。由于设备内有若干不同类型的光阻剂，但光阻剂容器的外形相同，不方便区分，操作人员容易在更换光阻的过程中发生错误，导致产品出现异常或者报废。

发明内容

本发明具有瓶盖锁的设备端光阻瓶公开了新的方案，采用瓶盖锁锁定瓶盖，防止操作人员错换光阻剂，解决了现有方案无相关保险措施的问题。

本发明具有瓶盖锁的设备端光阻瓶包括瓶体，瓶体包括瓶颈、瓶身，瓶颈的外侧上设有瓶把手，瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖，瓶盖上设有瓶盖锁装置，瓶盖锁装置包括气缸销，气缸销通过气缸销座固定在瓶盖的边沿上，气缸销包括气缸、锁销，气缸推动锁销向下伸出与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的接触锁定瓶盖状态，气缸推动锁销向上缩回与瓶盖周向旋转路线上的瓶把手形成预见的非接触解锁瓶盖状态。

进一步，本方案的瓶盖的外侧是柱面，气缸销座包括平台板，平台板是扇形板结构，平台板的下面固定立设有定位侧板，定位侧板的定位侧面与瓶盖的外侧贴合定位，平台板的内弧端通过连接件固定在瓶盖的边沿上，平台板的外弧端上设有气缸销固定通孔，锁销穿过气缸销固定通孔做升降运动。

进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有气腔A，活塞的下方设有气腔B，气腔B与外部高压气源连通，开启外部高压气源，活塞在气腔B内高压的作用下带动锁销向上运动形成解锁状态，关闭外部高压气源，气腔B内的高压消失，活塞在气腔A内高压、活塞自身重力的作用下带动锁销向下运动形成锁定状态。

更进一步，本方案的外部高压气源与气腔B连通的管道上设有电磁阀，设备端或网络光阻管理后台通过控制电磁阀的启闭状态控制瓶盖锁装置的工作状态。

进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有微型泵，活塞与微型泵间设有气腔A，活塞的下方设有气腔B，气腔B的下部的气缸内壁上设有活塞限位板，活塞限位板将气腔B分成活塞限位板上方的气腔C、活塞限位板下方的气腔D，微型泵的进气口与气腔A连通，微型泵的出气口与气腔D连通，启动微型泵，微型泵将气腔A内的气体泵入气腔B，活塞在气腔B内高压的作用下带动锁销向上运动形成解锁状态，关闭微型泵，气腔B内的高压消失，活塞在自身重力作用下带动锁销向下运动形成锁定状态。

更进一步，本方案的微型泵包括微型泵无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过微型泵无线控制模块控制微型泵的启闭状态来控制瓶盖锁装置的工作状态。

进一步，本方案的气缸内设有活塞，活塞的下面与锁销的连接端固定连接，活塞的上方设有气腔A，活塞的下方设有锁销驱动装置，活塞与锁销驱动装置间设有气腔B，锁销驱动装置与锁销形成螺纹传动连接，锁销驱动装置通过上述螺纹传动连接驱动锁销升降形成解锁或锁定状态。

更进一步，本方案的锁销驱动装置包括驱动无线控制模块，设备端或网络光阻管理后台通过驱动无线控制模块控制锁销驱动装置的启闭状态来控制瓶盖锁装置的工作状态。