[发明专利]用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基板；

第一体声波谐振器，包括设置在所述基板上的第一气腔，还包括堆叠在所述第一气腔上的第一电极、第一压电层和第二电极；

第二体声波谐振器，包括设置在所述基板上的第二气腔，还包括堆叠在所述第二气腔上的第一电极、第二压电层和第二电极，其中，所述第二体声波谐振器并联连接到所述第一体声波谐振器并且具有与所述第一体声波谐振器的极性相反的极性；以及

补偿电容器电路，连接在所述第一体声波谐振器与所述第二体声波谐振器之间。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述补偿电容器电路具有被设置为补偿通过所述第一体声波谐振器和所述第二体声波谐振器形成的并联谐振电路的不对称性的电容。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述补偿电容器电路包括第一补偿电容器，所述第一补偿电容器包括：

所述第一体声波谐振器的所述第一电极；

介电层，堆叠在所述第一体声波谐振器的所述第一电极上；以及

金属焊盘，连接到所述第二体声波谐振器的所述第二电极，并且堆叠在所述介电层上以与所述第一体声波谐振器的所述第一电极叠置。

4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述补偿电容器电路包括第一补偿电容器，所述第一补偿电容器包括：

所述第二体声波谐振器的所述第一电极；

介电层，堆叠在所述第二体声波谐振器的所述第一电极上；以及

金属焊盘，连接到所述第一体声波谐振器的所述第二电极，并且堆叠在所述介电层上以与所述第二体声波谐振器的所述第一电极叠置。

5.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其中，所述补偿电容器电路还包括第二补偿电容器，所述第二补偿电容器包括：

所述第二体声波谐振器的所述第一电极；

介电层，堆叠在所述第二体声波谐振器的所述第一电极上；以及

金属焊盘，连接到所述第一体声波谐振器的所述第二电极，并且堆叠在所述介电层上以与所述第二体声波谐振器的所述第一电极叠置。

6.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其中，所述补偿电容器电路还包括第二补偿电容器，所述第二补偿电容器包括：

所述第一体声波谐振器的所述第一电极；

介电层，堆叠在所述第一体声波谐振器的所述第一电极上；以及

金属焊盘，连接到所述第二体声波谐振器的所述第二电极，并且堆叠在所述介电层上以与所述第一体声波谐振器的所述第一电极叠置。

7.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述补偿电容器电路还包括第二补偿电容器，所述第二补偿电容器包括：

所述第二体声波谐振器的所述第一电极；

介电层，堆叠在所述第二体声波谐振器的所述第一电极上；以及

金属焊盘，连接到所述第一体声波谐振器的所述第二电极，并且堆叠在所述介电层上以与所述第二体声波谐振器的所述第一电极叠置。

8.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述补偿电容器电路还包括第二补偿电容器，所述第二补偿电容器包括：

所述第一体声波谐振器的所述第一电极；

介电层，堆叠在所述第一体声波谐振器的所述第一电极上；以及

金属焊盘，连接到所述第二体声波谐振器的所述第二电极，并且堆叠在所述介电层上以与所述第一体声波谐振器的所述第一电极叠置。

9.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述补偿电容器电路还包括第一补偿电容器电路，所述第一补偿电容器电路并联连接到所述第一补偿电容器并且具有固定电容和可变电容中的一者。