[发明专利]用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器

说明书

本发明提供一种用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器，所述体声波(BAW)谐振器包括：基板；第一BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第一气腔，还包括堆叠在所述第一气腔上的第一电极、第一压电层和第二电极；第二BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第二气腔，还包括堆叠在所述第二气腔上的第一电极、第二压电层和第二电极，其中，所述第二BAW谐振器并联连接到所述第一BAW谐振器并且具有与所述第一BAW谐振器的极性相反的极性；以及补偿电容器电路，连接在所述第一BAW谐振器与所述第二BAW谐振器之间。

本申请要求分别于2017年4月5日和于2017年8月2日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0044156号和第10-2017-0098232号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用包含于此。

技术领域

下面的描述涉及一种被构造为使用用于修整的补偿电容器来减小谐波失真(harmonic distortion)的谐波失真衰减的体声波(BAW)谐振器和BAW滤波器。

背景技术

近年来，随着无线通信装置小型化的趋势，已需要包括滤波器的高频组件紧凑。具体来说，对于滤波器，即使对于利用半导体薄膜晶圆制造技术的体声波(BAW)谐振器型滤波器，也需要缩小尺寸。

通常，BAW谐振器是通过沉积在硅晶圆(半导体基板)上的压电介电材料并利用压电介电材料的压电特性产生谐振的薄膜型谐振器。这样的BAW谐振器可应用在诸如用于移动通信装置、化学和生物测试装置等的小且轻量的滤波器、振荡器、谐振元件和声学谐振质量传感器的各种应用以及近来的与各种频带相关联的组件中。

此外，由于单个通信系统需要各种频带，因此对于BAW谐振器和微机电系统(MEMS)元件的带外特性以及带内特性的要求已逐渐增加。

同时，在宽带码分多址(WCDMA)或第三代通信的应用中，关于可能发生在BAW谐振器和BAW滤波器中的互调失真(IMD)，诸如以二次谐波失真(2HD)为例的谐波失真的降低正成为问题。

另外，随着通信系统的多功能化和规格的改善，针对滤波器和其他外围元件的干扰特性的改善已变得重要。此外，为了确保较大的竞争力，对于滤波器的紧凑尺寸，制造阶段中的紧凑设计可能是重要的。然而，在制造滤波器之后，会需要精确的特性调节。

具体来说，在通常的便携式通信市场中，可能要求诸如2HD的谐波失真的大小等于预定水平或低于预定水平(例如，约-40dBm)。因此，存在开发满足这样的特性的BAW元件的需求。

发明内容

提供本发明内容以按照简化的形式对选择的构思进行介绍，下面在具体实施方式中进一步描述所述构思。本发明内容既不意在限定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用作帮助确定所要求保护的主题的范围。

在一个总体方面，一种体声波(BAW)谐振器包括：基板；第一BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第一气腔，还包括堆叠在所述第一气腔上的第一电极、第一压电层和第二电极；第二BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第二气腔，还包括堆叠在所述第二气腔上的第一电极、第二压电层和第二电极，其中，所述第二BAW谐振器并联连接到所述第一BAW谐振器并且具有与所述第一BAW谐振器的极性相反的极性；以及补偿电容器电路，连接在所述第一BAW谐振器与所述第二BAW谐振器之间。

所述补偿电容器电路可具有被设置为补偿通过所述第一BAW谐振器和所述第二BAW谐振器形成的并联谐振电路的不对称性的电容。

所述补偿电容器电路可包括第一补偿电容器，所述第一补偿电容器包括：所述第一BAW谐振器的所述第一电极；介电层，堆叠在所述第一BAW谐振器的所述第一电极上；以及金属焊盘，连接到所述第二BAW谐振器的所述第二电极，并且堆叠在所述介电层上以与所述第一BAW谐振器的所述第一电极叠置。