[发明专利]一种调质均质靶板的制造方法

权利要求书

1.一种调质均质靶板的制造方法，该方法包括将钢锭依次进行压机锻制、退火处理、机械加工处理和调质处理，其中，所述退火处理采用包括如下过程的步骤进行：

(1)将压机锻制后得到的靶板以≤80℃/h的第一升温速率升温至650～750℃的第一温度，并在该第一温度下保持2～4h；

(2)将经步骤(1)后的靶板以≤100℃/h的第二升温速率升温至820～920℃的第二温度，并在该第二温度下保持4～6h；

(3)将经步骤(2)后的靶板的温度降至350～400℃的第三温度，并在该第三温度下保持5～7h；

(4)将经步骤(3)后的靶板升温至630～730℃的第四温度，并在该第四温度下保持25～35h；以及

(5)将经步骤(4)后的靶板以≤30℃/h的第一降温速率降温至350～450℃，然后以低于所述第一降温速率的第二降温速率降温至200℃以下，

其中，所述钢锭通过将钢原料依次进行偏心底电弧炉熔炼、炉外精炼和浇铸而制得，所述钢原料依次进行偏心底电弧炉熔炼和炉外精炼后获得的精炼钢液中含有：0.27～0.33重量％的C，0.18～0.35重量％的Si，0.30～0.50重量％的Mn，0～0.030重量％的S，0～0.030重量％的P，1.80～2.30重量％的Cr，1.80～3.00重量％的Ni，0.28～0.38重量％的Mo， 余量为Fe和不可避免的杂质。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第一温度为680～720℃。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第二温度为850～890℃。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第四温度为660～700℃。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的制造方法，其中，所述第二降温速率为≤15℃/h。

6.根据权利要求1-4中任意一项所述的制造方法，其中，所述压机锻制步骤包括：将钢锭进行至少两次墩拔操作，然后横向锻造至宽度要求再纵向拔长，并且墩粗使得钢锭高度为1/4H～3/4H。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其中，在所述压机锻制步骤中，在进行墩拔操作前先将所述钢锭采用包括如下过程的步骤进行加热：在≤600℃的第五温度下保持1～3h；然后以≤80℃/h的升温速率升温至710～810℃的第六温度，并在该第六温度下保持1～3h；接着以≤100℃/h的升温速率升温至1100～1200℃的第七温度，并在该第七温度下保持3～5h。

8.根据权利要求1-4和7中任意一项所述的制造方法，其中，所述调质处理采用包括如下过程的步骤进行：

a)将经机械加工处理后的靶板在≤350℃下保持0.2～2h；

b)将经步骤a)后的靶板以≤80℃/h的升温速率升温至630～730℃的第八温度，并在该第八温度下保持0.2～2.5h；

c)将经步骤b)后的靶板以≤100℃/h的升温速率升温至840～940℃的第九温度，并在该第九温度下保持400～1000min；

d)将经步骤c)后的靶板先空冷30～90s，然后再入淬火液中保持40～200min；

e)将经步骤d)后的靶板先以≤80℃/h的升温速率升温至600～700℃的第十温度下进行回火处理，并在该第十温度下保持300～1500min。

9.根据权利要求8所述的制造方法，其中，在步骤d)中，所述靶板在淬火液中处理至温度为180～240℃时出所述淬火液。

10.根据权利要求9所述的制造方法，其中，在步骤e)中，在进行回火处理之前，先将经步骤d)后的靶板冷却至≤100℃再进行所述回火处理。