[发明专利]一种基于六点支撑的气浮平台调平方法

权利要求书

1.一种基于六点支撑的气浮平台调平方法，其特征在于：包括以下步骤:

(10)、准备六个支撑机构、高度计、双轴水平仪及一配重块，支撑机构为高度可调支撑机构；

(20)、在气浮平台上设定1#-6#共六个支撑点，该六个支撑点呈方形矩阵布置，其中，1#、2#、3#支撑点为第一组，4#、5#和6#支撑点为第二组，每一个支撑机构各自对应一个支撑点放置，通过该六个支撑机构共同支撑气浮平台；

(30)、应用高度计测量出1#-6#六个支撑点独自放置配重块时高度变化量，记为A:

A＝[σ₁ σ₂ σ₃ σ₄ σ₅ σ₆]；

(40)、下落第一组中的一个支撑机构，下落第二组中的两个支撑机构，气浮平台由呈三角形布置的三个支撑机构支撑，调整该三个支撑机构，使得气浮平台X、Y向水平度分别在设定范围内，同时通过高度计记录此时1#-6#六个支撑点高度值，记为D₀：

D₀＝[d₁ d₂ d₃ d₄ d₅ d₆]；

(50)、顺次顶升第二组中下落的两个支撑机构，并调节该两个支撑机构顶升高度，保证每一个新顶升支撑机构对应支撑点高度变化量在设定范围内，然后下落该第二组中在步骤(40)中起支撑作用的支撑机构，气浮平台由三点支撑变为四点支撑，通过高度计测量1#-6#各个支撑点的高度值，保证每个测量值相对于各自对应D₀的变化量在10um内；

(60)、顶升第一组在步骤(40)中下落的支撑机构，顶升第二组在步骤(50)中下落的支撑机构，同时调节该步骤中两个新顶升的支撑机构，通过高度计测量该新顶升的支撑机构对应支撑点高度值，保证该测得高度值和步骤(40)中该支撑点高度值D₀相比较变化量为0.4-0.6A，此时气浮平台由四点支撑变为六点支撑。

2.根据权利要求1所述的一种基于六点支撑的气浮平台调平方法，其特征在于：步骤(40)中，第一组支撑机构中的2#支撑机构下落，第二组支撑机构中的4#和6#支撑机构下落，剩下对气浮平台进行支撑的三个支撑机构呈等腰三角形布置。

3.根据权利要求2所述的一种基于六点支撑的气浮平台调平方法，其特征在于：步骤(50)中，每一个新顶升支撑机构对应支撑点高度变化量为0.75(σ₄+σ₆)。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种基于六点支撑的气浮平台调平方法，其特征在于：在步骤(50)-(60)间，还设有以下步骤：

(55)、分别对四个支撑机构进行微调，确保该四个支撑点处高度与各自对应的D₀的变化量在2um内。

5.根据权利要求1所述的一种基于六点支撑的气浮平台调平方法，其特征在于：步骤(40)中，气浮平台X、Y向水平度在0.5角秒内。

6.根据权利要求1所述的一种基于六点支撑的气浮平台调平方法，其特征在于：所述配重块重量为1000kg。

7.根据权利要求1所述的一种基于六点支撑的气浮平台调平方法，其特征在于：所述高度计设有六个，每个高度计各自和一个支撑点对应。