[发明专利]蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模用基材，该蒸镀掩模用基材为呈带状的金属板，通过蚀刻形成有多个孔，被使用于制造蒸镀掩模，其中，

上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状彼此不同，各形状为具有在上述金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，

上述宽度方向上的上述金属板的表面的长度为表面距离，

上述金属板的上述长度方向的各位置处的上述表面距离中的最小值为最小表面距离，

各表面距离与上述最小表面距离之差相对于上述最小表面距离的比率为上述宽度方向上的伸长差率，

上述伸长差率的最大值为2×10^－5以下。

2.如权利要求1所述的蒸镀掩模用基材，其中，

上述长度方向上的上述蒸镀掩模用基材的单位长度为500mm，

上述伸长差率的上述单位长度下的平均值为0.5×10^－5以下。

3.如权利要求1所述的蒸镀掩模用基材，其中，

上述长度方向上的上述蒸镀掩模用基材的单位长度为500mm，

具有0.5×10^－5以上的上述伸长差率的波峰的个数在每上述单位长度中为三个以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩模用基材，其中，

上述长度方向上的上述蒸镀掩模用基材的单位长度为500mm，

具有0.5×10^－5以上的上述伸长差率的波峰彼此的间隔的最小值在每上述单位长度中为100mm以上。

5.一种蒸镀掩模用基材的制造方法，该蒸镀掩模用基材为呈带状的金属板，通过蚀刻形成有多个孔，被使用于制造蒸镀掩模，

上述蒸镀掩模用基材的制造方法包括对母材进行轧制而得到金属板的工序，

将上述母材轧制成，

上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状彼此不同，各形状为具有在上述金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，

上述宽度方向上的上述金属板的表面的长度为表面距离，上述金属板的上述长度方向的各位置处的上述表面距离中的最小值为最小表面距离，

各表面距离与上述最小表面距离之差相对于上述最小表面距离的比率为上述宽度方向上的伸长差率，

上述伸长差率的最大值为2×10^－5以下。

6.一种蒸镀掩模的制造方法，包括：在呈带状的金属板上形成抗蚀剂层的工序；和通过以上述抗蚀剂层为掩模的蚀刻来对上述金属板形成多个孔，从而形成掩模部的工序，其中，

上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状彼此不同，各形状为具有在上述金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，

上述宽度方向上的上述金属板的表面的长度为表面距离，

上述金属板的上述长度方向的各位置处的上述表面距离中的最小值为最小表面距离，

各表面距离与上述最小表面距离之差相对于上述最小表面距离的比率为上述宽度方向上的伸长差率，

上述伸长差率的最大值为2×10^－5以下。

7.如权利要求6所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，

形成上述掩模部是指对单个上述金属板形成多个上述掩模部，

各上述掩模部分别具备具有上述多个孔的一个侧面，

将各上述掩模部的侧面与一个框架部以每个上述掩模部的上述多个孔整体地被上述一个框架部包围的方式彼此接合。

8.一种显示装置的制造方法，包括：

准备通过权利要求6或7所述的蒸镀掩模的制造方法得到的蒸镀掩模的工序；和

通过使用上述蒸镀掩模进行蒸镀来形成图案的工序。