[发明专利]蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法

说明书

本发明提供一种蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法，能够提高通过蒸镀形成的图案的精度。金属板的长度方向DL上的各位置处的沿着金属板的宽度方向DW的形状彼此不同，各形状为具有在金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，金属板的表面上的宽度方向DW的长度为表面距离，金属板的长度方向的各位置处的表面距离中的最小值为最小表面距离，金属板的长度方向的各位置处的表面距离与最小距离之差相对于最小表面距离的比率为宽度方向上的伸长差率，宽度方向上的伸长差率的最大值为2×10^－5以下。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法。

背景技术

蒸镀掩模包括第1面、第2面及从第1面贯通至第2面的孔。第1面与基板等对象物对置，第2面位于与第1面相反的一侧。孔包括位于第1面的第1开口以及位于第2面的第2开口。从第2开口进入到孔的蒸镀物质将对第1开口的位置、第1开口的形状进行追随的图案形成于对象物(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－055007号公报

蒸镀掩模所具备的孔具有随着从第1开口趋近第2开口而增大的截面积，由此，提高从第2开口进入孔的蒸镀物质的数量，确保到达第1开口的蒸镀物质的数量。另一方面，从第2开口进入孔的蒸镀物质的至少一部分未到达第1开口，而是附着于划分孔的壁面。附着于壁面的蒸镀物质阻碍其他蒸镀物质通过孔，降低了图案所具有的尺寸的精度。

近年来，出于降低附着于壁面的蒸镀物质的体积的目的，探讨减薄蒸镀掩模的厚度，缩小壁面的面积自身。并且，作为减薄蒸镀掩模的厚度的技术，探讨减薄用于制造蒸镀掩模的基材即金属板的厚度。

另一方面，在向金属板形成孔的蚀刻的工序中，金属板的厚度越是减薄，则被除去的金属的体积越小。因此，向金属板供给蚀刻液的时间、所供给的蚀刻液的温度等加工条件的允许范围变窄。结果是，第1开口或第2开口的尺寸无法获得足够的精度。特别是，在制造金属板的技术中，使用利用辊子将母材延展的轧制、或将析出至电极的金属板从电极剥离的电解，在金属板自身上形成有波形状。在具有此类形状的金属板中，使金属板与蚀刻液接触的时间例如在波形状的峰部与波形状的谷部之间明显不同。因此，上述允许范围的狭窄化伴随而来的精度降低更加严重。如上，减薄蒸镀掩模的厚度的技术虽然通过降低附着于壁面的蒸镀物质的量来提高反复进行蒸镀时的图案尺寸的精度，但会引起蒸镀中难以获得图案尺寸所需精度的课题。

发明内容

本发明的目的在于提供能够提高通过蒸镀形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法。

用于解决上述课题的蒸镀掩模用基材为呈带状的金属板，通过蚀刻形成有多个孔，被使用于制造蒸镀掩模，其中，上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状彼此不同，各形状为具有在上述金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，上述宽度方向上的上述金属板的表面的长度为表面距离，上述金属板的上述长度方向的各位置处的上述表面距离中的最小值为最小表面距离，各表面距离与上述最小表面距离之差相对于上述最小表面距离的比率为上述宽度方向上的伸长差率，上述伸长差率的最大值为2×10^－5以下。