[发明专利]掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统

权利要求书

1.一种掩膜装置，包括框架、条状对位板和条状支撑板，其特征在于，在所述条状对位板中设置有镂空部，且所述条状对位板固定在所述框架上；

所述条状支撑板与所述条状对位板相互交叉，并且在所述条状支撑板的与所述框架相对的表面上设置有多个焊点，所述条状支撑板对应所述镂空部的区域内设置有多个所述焊点，多个所述焊点通过所述镂空部与所述框架焊接固定；

所述条状支撑板的端部自所述条状对位板背离所述框架的一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的所述框架所在一侧；所述焊点均设置在所述端部；或者

所述条状支撑板的端部自所述条状对位板的所述框架所在一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的背离所述框架的一侧；所述焊点均设置在所述端部。

2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述条状支撑板叠置在所述条状对位板背离所述框架的一侧。

3.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述条状支撑板叠置在所述条状对位板朝向所述框架的一侧。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的掩膜装置，其特征在于，所述镂空部包括沿所述条状对位板的厚度方向设置的通孔。

5.根据权利要求2或3所述的掩膜装置，其特征在于，所述镂空部包括设置于所述条状对位板上的凹槽，所述凹槽的开口朝向垂直于所述条状对位板的延伸方向，且朝向所述条状支撑板的所述端部。

6.根据权利要求1-3任意一项所述的掩膜装置，其特征在于，所述条状支撑板为一个或者多个，且多个所述条状支撑板相互平行，并间隔排布。

7.根据权利要求1-3任意一项所述的掩膜装置，其特征在于，多个所述焊点在垂直于所述条状支撑板的长度方向上排成至少一排，同一排中的多个所述焊点沿平行于所述条状支撑板的长度方向间隔排布。

8.根据权利要求1-3任意一项所述的掩膜装置，其特征在于，在所述条状对位板中设置有定位孔。

9.根据权利要求1-3任意一项所述的掩膜装置，其特征在于，所述条状对位板的数量为两个，且相互平行；所述掩膜装置还包括多个条状遮挡板，多个所述条状遮挡板均位于两个所述条状对位板之间，且与所述条状对位板相互平行，并且多个所述条状遮挡板间隔排布。

10.根据权利要求9所述的掩膜装置，其特征在于，所述掩膜装置还包括多个条状掩膜板，且在每相邻的两个条状遮挡板之间设置一个所述条状掩膜板；并且，在每个所述条状掩膜板上设置有开口。

11.一种蒸镀系统，用于薄膜的蒸镀，其特征在于，包括权利要求1-10任意一项所述的掩膜装置。

12.一种掩膜装置的制作方法，其特征在于，包括：

提供框架；

提供条状对位板，且在所述条状对位板中形成镂空部；

提供条状支撑板，且使所述条状支撑板与所述条状对位板相互交叉，并且在所述条状支撑板的与所述框架相对的表面上形成有多个焊点，所述条状支撑板对应所述镂空部的区域内形成有多个所述焊点，多个所述焊点通过所述镂空部与所述框架焊接固定；

所述条状支撑板的端部自所述条状对位板背离所述框架的一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的所述框架所在一侧；所述焊点均设置在所述端部；或者

所述条状支撑板的端部自所述条状对位板的所述框架所在一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的背离所述框架的一侧；所述焊点均设置在所述端部。