[发明专利]掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统

说明书

本发明提供一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统，该掩膜装置包括框架、条状对位板和条状支撑板，在条状对位板中设置有镂空部，且条状对位板固定在框架上；条状支撑板与条状对位板相互交叉，并且在条状支撑板的与框架相对的表面上设置有多个焊点。本发明提供的掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统的技术方案，可以避免条状对位板材料的浪费及给后续的对位工作带来困难。

技术领域

本发明涉及掩膜板制造领域，具体地，涉及一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统。

背景技术

目前，制备高质量OLED屏的一种核心技术是采用高精密OLED掩膜板在玻璃基板上蒸镀R、G、B三原色的有机材料。蒸镀工艺使用的掩膜板的质量直接影响到OLED屏的质量，因此，掩膜板的结构和制作方法都很重要。

现有的掩膜板包括框架、条状对位板和条状支撑板，其中，条状支撑板焊接在框架上，用于支撑条状掩膜板；条状对位板焊接在框架上，且与条状支撑板相互交叉，用于与玻璃基板进行对位。现有的掩膜板在实际应用中不可避免地存在以下问题，即：

在条状对位板与条状支撑板的交叉处，条状对位板会遮挡条状支撑板的部分焊点，当需要对焊点进行修复时，需要先撕除条状对位板，导致条状对位板材料的浪费。另外，重新焊接条状对位板会导致条状对位板的对位基准改变，从而给后续的对位工作带来困难。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统，其可以避免条状对位板材料的浪费及给后续的对位工作带来困难。

为实现本发明的目的而提供一种掩膜装置，包括框架、条状对位板和条状支撑板，在所述条状对位板中设置有镂空部，且所述条状对位板固定在所述框架上；

所述条状支撑板与所述条状对位板相互交叉，并且在所述条状支撑板的与所述框架相对的表面上设置有多个焊点，所述条状支撑板对应所述镂空部的区域内设置有多个所述焊点。

可选的，多个所述焊点通过所述镂空部与所述框架焊接固定。

可选的，所述条状支撑板的端部自所述条状对位板背离所述框架的一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的所述框架所在一侧；所述焊点均设置在所述端部。

可选的，所述条状支撑板的端部自所述条状对位板的所述框架所在一侧经由所述镂空部延伸至所述条状对位板的背离所述框架的一侧；所述焊点均设置在所述端部。

可选的，所述条状支撑板叠置在所述条状对位板背离所述框架的一侧。

可选的，所述条状支撑板叠置在所述条状对位板朝向所述框架的一侧。

可选的，所述镂空部包括沿所述条状对位板的厚度方向设置的通孔。

可选的，所述镂空部包括设置于所述条状对位板上的凹槽，所述凹槽的开口朝向垂直于所述条状对位板的延伸方向，且朝向所述条状支撑板的所述端部。

可选的，所述条状支撑板为一个或者多个，且多个所述条状支撑板相互平行，并间隔排布。

可选的，多个所述焊点在垂直于所述条状支撑板的长度方向上排成至少一排，同一排中的多个所述焊点沿平行于所述条状支撑板的长度方向间隔排布。

可选的，在所述条状对位板中设置有定位孔。

可选的，所述条状对位板的数量为两个，且相互平行；所述掩膜装置还包括多个条状遮挡板，多个所述条状遮挡板均位于两个所述条状对位板之间，且与所述条状对位板相互平行，并且多个所述条状遮挡板间隔排布。

可选的，所述掩膜装置还包括多个条状掩膜板，且在每相邻的两个条状遮挡板之间设置一个所述条状掩膜板；并且，在每个所述条状掩膜板上设置有开口。