[发明专利]一种基板处理系统

权利要求书

1.一种基板处理系统，其特征在于，包括：第一承载装置、报废处理装置以及搬运装置，其中，

所述搬运装置用于从第一承载装置中抓取待处理基板，并将所述待处理基板搬运至所述报废处理装置，以使得所述报废处理装置根据人工检测结果对所述待处理基板执行不同的处理操作。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：切割台；所述报废处理装置具体包括：第一机械臂、第二承载装置和至少一个报废车；

在对所述待处理基板进行检测之后，所述第一机械臂用于在检测合格情况下，将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述切割台；以及，用于在检测不合格情况下，将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述报废车。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述第一机械臂，具体用于根据接收到的操作指令将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述切割台或所述报废车。

4.如权利要求2或3所述的系统，其特征在于，所述第一机械臂具体为携带有真空吸附结构的机械臂。

5.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述报废处理装置还包括：

与所述至少一个报废车对应的第一传送带；

所述第一传送带，用于将第一机械臂搬运来的待处理基板传送至所述报废车。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述第二承载装置中设置有处理器，所述处理器用于检测所述第一机械臂对基板实施的搬运次数，并在所述搬运次数达到第一阈值时，确定对应当前搬运操作的报废车已满。

7.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述报废车中设置有处理器，所述处理器用于检测所述报废车中容纳的基板总厚度，并在所述基板总厚度达到第二阈值时，确定当前报废车已满。

8.如权利要求6或7所述的系统，其特征在于，当所述处理器确定报废车已满时，

所述第一机械臂，还用于将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至与未满报废车对应的第一传送带；或者，

用于将所述待处理基板从所述第二承载装置直接搬运至更换后的报废车。

9.如权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括：承载所述待处理基板且旋转预设角度以实现对所述待处理基板进行实验测量的旋转台；

所述第一机械臂在将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述切割台时，具体用于将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述旋转台，在旋转台进行实验测量后，将所述待处理基板从所述旋转台搬运至所述切割台。

10.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述搬运装置具体包括：第二机械臂和第二传送带；

所述第二机械臂用于从所述第一承载装置中抓取待处理基板，并将所述待处理基板搬运至所述第二传送带；

所述第二传送带用于将所述待处理基板传送至所述报废处理装置，以使得所述报废处理装置根据人工检测结果对所述待处理基板执行不同的处理操作。