[发明专利]一种基板处理系统

说明书

本申请涉及自动化领域，尤其涉及一种基板处理系统，用以解决现有技术中基板处理效率低、生产良率低的问题。该系统包括：第一承载装置、报废处理装置以及搬运装置，其中，所述搬运装置用于从第一承载装置中抓取待处理基板，并将所述待处理基板搬运至所述报废处理装置，以使得所述报废处理装置根据检测结果对所述待处理基板执行不同的处理操作。本申请提供的技术方案采用搬运装置实现基板的自动转移搬运，无需人工参与，提高了基板处理效率，且在搬运过程中无人工接触，避免了对基板可能造成的污染及损坏，提升了基板良率。

技术领域

本申请涉及自动化技术领域，尤其涉及一种基板处理系统。

背景技术

随着信息化时代的到来，人们对于手机、计算机、电视等电子显示设备的需求日益增加。在电子显示设备的生产中，基板是构成电子显示设备的一个基本部件。

在完成基板的制作之后，通常需要对基板进行检测、切割等后续处理。现有的基板处理工艺流程中，基板需要在多个处理装置之间进行转移搬运，这一系列的处理均需要人工参与来实现，消耗较多人力物力，且耗时较长；另外，由于人工参与，有可能会对基板造成污染及损坏，从而，整体上降低了处理效率、生产良率。

发明内容

本申请实施例提供一种基板处理系统，用以解决现有技术中基板处理效率低、生产良率低的问题。

本申请实施例采用下述技术方案：

本申请提供一种基板处理系统，包括：第一承载装置、报废处理装置以及搬运装置，其中，

所述搬运装置用于从第一承载装置中抓取待处理基板，并将所述待处理基板搬运至所述报废处理装置，以使得所述报废处理装置根据人工检测结果对所述待处理基板执行不同的处理操作。

可选地，还包括：切割台；所述报废处理装置具体包括：第一机械臂、第二承载装置和至少一个报废车；

在对所述待处理基板进行检测之后，所述第一机械臂用于在检测合格情况下，将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述切割台；以及，用于在检测不合格情况下，将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述报废车。

可选地，所述第一机械臂，具体用于根据接收到的操作指令将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述切割台或所述报废车。

可选地，所述第一机械臂具体为携带有真空吸附结构的机械臂。

可选地，所述报废处理装置还包括：

与所述至少一个报废车对应的第一传送带；

所述第一传送带，用于将第一机械臂搬运来的待处理基板传送至所述报废车。

可选地，所述第二承载装置中设置有处理器，所述处理器用于检测所述第一机械臂对基板实施的搬运次数，并在所述搬运次数达到第一阈值时，确定对应当前搬运操作的报废车已满。

可选地，所述报废车中设置有处理器，所述处理器用于检测所述报废车中容纳的基板总厚度，并在所述基板总厚度达到第二阈值时，确定当前报废车已满。

可选地，当所述处理器确定报废车已满时，

所述第一机械臂，还用于将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至与未满报废车对应的第一传送带；或者，

用于将所述待处理基板从所述第二承载装置直接搬运至更换后的报废车。

可选地，还包括：承载所述待处理基板且旋转预设角度以实现对所述待处理基板进行实验测量的旋转台；

所述第一机械臂在将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述切割台时，具体用于将所述待处理基板从所述第二承载装置搬运至所述旋转台，在旋转台进行实验测量后，将所述待处理基板从所述旋转台搬运至所述切割台。