[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示面板、电子装置

说明书

一种阵列基板及其制造方法、显示面板、电子装置，该阵列基板包括衬底基板、第一电极、第二电极。第一电极设置在衬底基板上，第二电极设置在第一电极上且在垂直于衬底基板的方向上与第一电极至少部分相对；第一电极与第二电极电绝缘，且第一电极和/或第二电极在相对的区域内包括形成第一凹槽的至少部分。

技术领域

本发明的实施例涉及一种阵列基板及其制造方法、显示面板、电子装置。

背景技术

液晶显示面板、有机发光二极管显示面板等由于具有轻薄化、抗震性好、视角广、对比度高等特点，已广泛应用于各种显示装置中。显示面板例如通常包括阵列排布的多个子像素，每个子像素内例如包括薄膜晶体管和电容等结构。例如，随着显示技术的发展以及消费者对显示面板的显示画质的需求，显示面板的分辨率在不断提高，相应地，每个子像素所占的面积相对越来越小，这对显示面板中例如电容结构的设计等方面提出了更高的要求。

发明内容

本发明至少一个实施例提供一种阵列基板，该阵列基板包括衬底基板、第一电极、第二电极。第一电极设置在所述衬底基板上；第二电极设置在所述第一电极上且在垂直于所述衬底基板的方向上与所述第一电极至少部分相对；其中，所述第一电极与所述第二电极电绝缘，且所述第一电极和/或所述第二电极在相对的区域内包括形成第一凹槽的至少部分。

例如，在本发明一实施例提供的阵列基板中，所述第一电极和/或所述第二电极在相对的区域内包括至少两个第一凹槽，所述至少两个第一凹槽彼此并列设置。

例如，本发明一实施例提供的阵列基板还包括在所述衬底基板上的绝缘层，其中，所述绝缘层位于所述衬底基板和所述第一电极之间且包括形成在其中的第二凹槽，所述第一电极的形成第一凹槽的至少部分在垂直于所述衬底基板的方向上与所述绝缘层中的第二凹槽至少部分重叠。

例如，在本发明一实施例提供的阵列基板中，所述绝缘层为叠层结构且包括从所述衬底基板依次层叠的至少两个子绝缘层，所述绝缘层的第二凹槽穿过远离所述衬底基板一侧的至少一个子绝缘层。

例如，本发明一实施例提供的阵列基板还包括介电层，其中，所述介电层设置在所述第一电极和所述第二电极之间且包括形成在其中的第三凹槽；所述第二电极的形成第一凹槽的至少部分在垂直于所述衬底基板的方向上与所述介电层中的第三凹槽至少部分重叠。

例如，本发明一实施例提供的阵列基板还包括驱动电路结构，其中，所述驱动电路结构包括薄膜晶体管，其中，所述薄膜晶体管包括有源层、栅极、源漏极；所述第一电极与所述有源层、所述栅极、所述源漏极中的任意一个同层设置；所述第二电极与所述有源层、所述栅极、所述源漏极中另一个同层设置。

例如，本发明一实施例提供的阵列基板还包括发光元件，其中，所述发光元件与所述薄膜晶体管的所述源漏极电连接。

本发明至少一个实施例提供一种显示面板，该显示面板包括本发明任一实施例的阵列基板。

本发明至少一个实施例提供一种电子装置，该电子装置包括本发明任一实施例的阵列基板。

本发明至少一个实施例提供一种阵列基板的制造方法，该方法包括：提供衬底基板；在所述衬底基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成第二电极，所述第二电极在垂直于所述衬底基板的方向上与所述第一电极至少部分相对；其中，所述第一电极与所述第二电极电绝缘，且所述第一电极和/或所述第二电极在相对的区域内包括形成第一凹槽的至少部分。

例如，在本发明一实施例提供的方法中，所述第一电极和/或所述第二电极在相对的区域内形成至少两个第一凹槽，所述至少两个第一凹槽彼此并列设置。

例如，本发明一实施例提供的方法还包括：在所述衬底基板上沉积绝缘层薄膜，对所述绝缘层薄膜进行刻蚀以形成包括第二凹槽的绝缘层；其中，所述第一电极和所述第二电极在所述绝缘层上依次形成；所述第一电极的形成第一凹槽的至少部分在垂直于所述衬底基板的方向上与所述第二凹槽至少部分重叠。