[发明专利]一种覆膜制板方法在审

专利信息
申请号: 201810241369.X 申请日: 2018-03-22
公开(公告)号: CN108470687A 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 黎开明 申请(专利权)人: 江西芯创光电有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 代理人: 黄宗熊
地址: 343800 江西省吉安市万安县*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 载板 烘烤 覆膜 感光胶层 制板 离型膜 表面离型层 曝光显影 三层结构 曝光 板表面 离型层 中间层 放入 胶层 两层 撕掉 显影 治具 焊接 显露 芯片 保留 成功
【说明书】:

发明公开了一种覆膜制板方法,包括以下步骤:S1、提供一载板,将所述载板表面覆膜,所述膜为三层结构,中间层为感光胶层,其它两层为离型层;覆膜成功后将底部离型膜去掉,保留表面离型膜;S2、对所述载板上的膜进行曝光;S3、曝光完成后撕掉表面离型层,将所述载板放入烘烤治具内进行烘烤;S4、对烘烤后所述载板上的感光胶层进行显影,完成制板。本发明通过烘烤使感光胶层的粘性提高,利用曝光显影技术将载板上需要进行焊接的部分通过显露出来,制成一个表面有胶层的载板;利用该载板与其他芯片或载板连接更为方便、高效、精确,而且其可靠性更强。

技术领域

本发明涉及芯片载板的制作领域,特别涉及一种覆膜制板方法。

背景技术

随着科技的发展,现今的芯片载板越来越趋于微型化,如应用到摄像头上的 芯片。因芯片的微型化,与其对应连接的载板也越来越微型化。传统技术在将芯 片与载板或者载板与载板之间连接,大多先通过锡将其电连接,再在外围通过胶 或者其他粘性物质将其进行固定。

通过外层加胶的方法进行固定连接这种方法在操作过程中并不方便,因为在 制作芯片载板时通常是在一整块板上同时制作多个芯片载板,若均使用在外层加 胶来固定,需使用大量的人力物力。传统的芯片与载板之间的连接仅通过锡将其 连接在一起,在微型化的制作过程中,需要进行的操作较为复杂,因为既要考虑 芯片与载板之间凸点的连接,又要保证在操作过程中不影响其位置关系。所以, 设计一款方便操作,精确度高、可靠性强的芯片载板是非常有必要的。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是:提供一种方便、高效、精确、可靠性强的覆 膜制板方法,通过在载板上覆膜,再进行曝光、烘烤、显影等方式在载板的一面 生成粘性较好的胶,利用胶的粘性与芯片或另一载板进行连接。

本发明解决上述问题所采用的技术方案为:一种覆膜制板方法,包括以下步 骤:

S1、提供一载板,将所述载板表面覆膜,所述膜为三层结构,中间层为感光 胶层,其它两层为离型层;覆膜成功后将底部离型膜去掉,保留表面离型膜;

S2、对所述载板上的膜进行曝光;

S3、曝光完成后撕掉表面离型层,将所述载板放入烘烤治具内进行烘烤;

S4、对烘烤后所述载板上的感光胶层进行显影,完成制板。

优选的,在步骤S1中,所述膜的厚度介于30μm到70μm之间。这样,在 保证载板覆膜的同时控制其厚度,使其与芯片或载板连接时的总厚度降低,更具 微型化。

优选的,在步骤S2中,所述曝光的光源为紫外光,所述紫外光的曝光能量 介于1000mJ到1500mJ。这样,经光源作用将原始底片上的图像转移到感光胶层 上。

优选的,在步骤S3中,所述烘烤的温度介于109℃到115℃,时间介于240s 到300s之间。这样,在这个温度和时间下,能够将载板上膜的材料特性改变, 使其粘性提高。

优选的,在步骤S3中,所述烘烤治具包括由支架支撑的至少一个平台,每 个平台内均设有上下贯通的通孔,每个平台配套设有一个搁板,每个平台均设有 支座,所述支座支撑所述的搁板,所述通孔位于所述搁板下方,所述搁板与平台 之间具有间隔;所述搁板的上表面用于放置所述载板。这样,在这个烘烤治具下, 能够使载板上膜能够均匀受热,不会使其变形。

优选的,在步骤S4中,显影的具体步骤为:

S41、将所述载板固定于一平台,旋转所述平台;

S42、用IPA溶液喷淋25s,后旋转甩干;

S43、重复步骤S42这一过程4-5次。

这样,通过旋转载板结合喷淋显影液,能够使载板上的感光胶层能够更快的 将未发生光聚合反应的感光材料部分冲掉。

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