[发明专利]热敏打印头

权利要求书

1.一种热敏打印头，其特征在于，包括：

具有主面的基板；

形成于所述主面上的电阻体层；

与所述电阻体层电连接的电极层；和

第1保护层，其在俯视时覆盖所述电阻体层的至少一部分，

所述第1保护层包括：

由四面体非晶碳形成的第1低密度层；和

第1高密度层，其由四面体非晶碳形成且比所述第1低密度层的密度高，

从所述电阻体层观看时，所述第1高密度层与所述第1低密度层相比配置于外侧。

2.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

还包括第2高密度层和第2低密度层，所述第2高密度层配置于所述第1低密度层与所述第2低密度层之间。

3.如权利要求2所述的热敏打印头，其特征在于：

所述第1低密度层的厚度比所述第2低密度层的厚度大。

4.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

还包括配置于所述第1低密度层与所述第1高密度层之间的中密度层，所述中密度层以碳为主要成分，密度为所述第1低密度层与所述第1高密度层之间的值。

5.如权利要求4所述的热敏打印头，其特征在于：

所述中密度层包括第1中密度层和第2中密度层，从所述电阻体层观看时所述第1中密度层与所述第2中密度层相比位于外侧，且所述第1中密度层的密度比所述第2中密度层的密度高。

6.如权利要求2所述的热敏打印头，其特征在于：

还包括第3高密度层，从所述电阻体层观看时所述第3高密度层位于所述第2低密度层的内侧。

7.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

所述第1高密度层具有导电性。

8.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

所述第1保护层还具有导电层。

9.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

在所述第1低密度层与所述第1高密度层的边界区域，随着从所述第1低密度层侧向所述第1高密度层侧去密度递增。

10.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

所述第1高密度层的厚度比所述第1低密度层的厚度小。

11.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

所述第1高密度层的厚度为5～50nm。

12.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

所述第1低密度层的厚度为200～2000nm。

13.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

还包括位于所述第1保护层与所述电阻体层之间的第2保护层，所述第1保护层还具有与所述第2保护层邻接的基底层。

14.如权利要求1所述的热敏打印头，其特征在于：

电极层包括共用电极和多个单独电极，

所述共用电极包括：多个第1带状部，其在主扫描方向相互隔开间隔地配置；和连结部，其与这些多个第1带状部连接且在所述主扫描方向上延伸，

所述多个单独电极包括在所述主扫描方向上相互隔开间隔地配置的多个第2带状部，各第2带状部在副扫描方向上延伸，

所述电阻体层是在所述主扫描方向上延伸的带状，

所述多个第1带状部和所述多个第2带状部在所述主扫描方向上交替地配置且与所述电阻体层交叉。

15.如权利要求14所述的热敏打印头，其特征在于：

所述第1保护层具有在俯视时与所述电阻体层重叠的外表面部分，在该外表面部分形成有各自与所述主扫描方向正交的多个槽。