[发明专利]一种硅片测试台

说明书

本发明涉及一种硅片测试台，所述硅片测试台包括工作台、校准器及传送器；所述传送器用于拾取待检测硅片并将拾取到的待检测硅片传送至所述工作台上，所述校准器用于对所述工作台上待检测硅片的角度进行调整，所述工作台用于检测待检测硅片的少子寿命；所述工作台包括台体、升降杆和固定框，所述升降杆和固定框安装在所述台体上，所述升降杆的位置在所述固定框内，所述升降杆相对于所述台体和所述固定框上下移动。所述工作台上的固定框用于固定检测中的硅片，避免所述硅片在检测过程中滑移导致所述硅片表面损伤，有效的避免了所述硅片的少子寿命降低，所述升降杆用于升降所述硅片，便于放置和取出所述硅片。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种硅片测试台。

背景技术

少子寿命是用来判定硅片完美性的重要指标之一，因此测试硅片的少子寿命就显得非常重要了。

现有技术中，通常采用硅片测试台对硅片的少子寿命和质量等进行检测，但在检测过程中，硅片测试台上的构件可能会使硅片产生污染物或损伤硅片，进而影响到硅片的少子寿命，导致硅片的少子寿命降低。

因此，急需提供一种硅片测试台，以解决硅片在检测时容易受损和产生污染物而导致少子寿命降低的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片测试台，以解决硅片在检测时容易受损和产生污染物而导致少子寿命降低的问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种硅片测试台，所述硅片测试台包括工作台、校准器及传送器；

所述传送器用于拾取待检测硅片并将拾取到的待检测硅片传送至所述工作台上，所述校准器用于对所述工作台上待检测硅片的位置进行调整，所述工作台用于检测待检测硅片；

所述工作台包括台体、升降杆和固定框，所述升降杆和固定框安装在所述台体上，所述升降杆位于所述固定框内，所述升降杆能够相对于所述固定框上下移动。

可选的，在所述的硅片测试台中，所述固定框中设置有三个所述升降杆，所述升降杆具有第一端和第二端，所述升降杆的第一端嵌入在所述台体中，所述升降杆与所述台体上表面垂直，所述固定框中的三个所述升降杆呈三角形设置。

可选的，在所述的硅片测试台中，当所述升降杆升起后，所述升降杆的第二端高于所述固定框，所述升降杆降下后，所述升降杆的第二端与所述台体齐平。

可选的，在所述的硅片测试台中，所述校准器包括调整结构，所述调整结构用于调整所述待检测硅片的位置。

可选的，在所述的硅片测试台中，所述校准器还包括检测结构，所述检测结构用于检测所述待检测硅片的位置。

可选的，在所述的硅片测试台中，所述传送器包括底座、第一传送臂和第二传送臂；

所述第一传送臂活动安装在所述底座上；所述第二传送臂活动安装在所述第一传送臂上。

可选的，在所述的硅片测试台中，所述第一传送臂具有第一端和第二端，所述第一传送臂的第一端旋转连接在所述底座上，所述第一传送臂的第二端与所述第二传送臂旋转连接。

可选的，在所述的硅片测试台中，所述第二传送臂具有第一端和第二端，所述第二传送臂的第一端与所述第一传送臂的第二端旋转连接，所述第二传送臂第一端叠在所述第一传送臂的第二端上；所述第二传送臂的第二端设置有凹口。

可选的，在所述的硅片测试台中，所述第二传送臂的凹口处设置有固定设备。

可选的，在所述的硅片测试台中，所述第二传送臂上设置有真空吸盘。