[发明专利]一种激光光束的调制装置、激光封装设备及加工方法

说明书

本发明公开了一种激光光束的调制装置、激光封装设备及加工方法。该激光光束的调制装置包括空间光束整形单元，用于对所述激光光束进行空间相位调制处理，生成相位调制激光光束；振镜扫描单元，用于将所述相位调制激光光束转投到待处理器件上形成激光光斑，并使激光光斑沿着处理路径进行扫描移动；控制单元，与空间光束整形单元、振镜扫描单元电连接，用于在激光处理过程中，根据处理路径上各个处理点与相位调制参数的对应关系，控制所述空间光束整形单元调制照射到各个处理点的激光光斑的能量分布，该激光光束调制装置能够实现对应处理点的激光光束的适应性整形，消除透镜在不同视场位置的像差的影响，提高激光处理效率和处理质量。

技术领域

本发明实施例涉及有机发光显示领域，尤其涉及一种激光光束的调制装置、激光封装设备及加工方法。

背景技术

有机发光二极管具备自发光、不需要背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板等优点，应用前景十分广阔，被认为是下一代显示器新兴应用技术。

有机发光二极管器件的寿命易受到氧气和水汽的影响，二者的侵入将缩短芯片使用寿命，因此有机发光显示屏对水氧的渗透率要求很高。因而，低成本、高产率和水氧渗透率是封装工艺设备技术发展的主要目标。

玻璃粉封装方法是主流工艺之一，其封装气密性优良，且工艺成熟。有机发光显示屏的上下基板中间按一定的路线涂覆有预烧结处理后的玻璃粉，当有激光照射在玻璃粉上后被玻璃粉吸收，光能转化为热能；温度升高至玻璃粉的软化点，实现上下盖板和的融合。

激光封装设备通过光束整形单元对光源产生的激光光束整形成特定形状的光斑，经由扫描振镜和远心F-theta场镜聚焦在工作面上，沿封装线的路径进行扫描封装。但存在的缺陷是光束整形单元为二元光学元件或微透镜阵列，当刻蚀或加工完成后，光束的整形方式一致，导致光斑在不同视场处的像质不同，且在视场较大的区域，会出现光斑的形貌参数变差的问题。

发明内容

本发明提供一种激光光束的调制装置、激光封装设备及加工方法，以实现实时在线、可动态编程控制的光斑形貌调整，提高封装工艺的适用性。

第一方面，本发明实施例提供了一种激光光束的调制装置，空间光束整形单元，用于对所述激光光束进行空间相位调制处理，生成相位调制激光光束；

振镜扫描单元，用于将所述相位调制激光光束转投到待处理器件上形成激光光斑，并使激光光斑沿着处理路径进行扫描移动；

控制单元，与空间光束整形单元、振镜扫描单元电连接，用于在激光处理过程中，根据处理路径上各个处理点与相位调制参数的对应关系，控制所述空间光束整形单元调制照射到各个处理点的激光光斑的能量分布。

可选地，还包括：

光斑检测单元，与所述控制单元电连接，用于检测转投到所述待处理器件上的各个处理点的激光光斑的能量分布；

所述控制单元，还用于在激光处理之前，根据所述光斑检测单元检测到的激光光斑的能量分布，控制所述空间光束整形单元调整相位调制参数，获得照射到各个处理点的激光光斑的能量分布均满足预设条件时的各个处理点与相位调制参数的对应关系。

可选地，还包括：

相位监测单元，与所述控制单元电连接，用于对所述空间光束整形单元生成的相位调制激光光束进行监测，将监测信号发送给所述控制单元；

所述控制单元，还用于根据所述监测信号计算所述相位调制激光光束相对调制前的激光光束的相位变化量，并在所述相位变化量超出预设相位变化量一定范围时反馈异常。

可选地，所述相位监测单元包括：

第一分光棱镜，用于从进入所述空间光束整形单元的激光光束中分出参考激光光束；