[发明专利]一种应用于ZnO MOCVD设备的自动化工艺生产线

说明书

本发明提供了一种应用于ZnO MOCVD设备的自动化工艺生产线，包括使ZnO MOCVD设备完成其上下料需求的机器人、石墨盘分割器及推送系统、石墨盘视觉定位系统、外延片视觉系统、外延片上下料工作台、PLC控制系统，所述ABB机器人进行自动上下料；所述石墨盘分割器及推送系统用于定位石墨盘和固定石墨盘推送位置，所述石墨盘视觉定位系统包括传感器和计时器，外延片成型完成后，石墨盘随机放置在分割器上，所述传感器用于检测所述生长完成的石墨盘退出，经过视觉定位石墨盘的方向，所述计时器用于记录所述外延片到达石墨盘停留的时间；以解决现有的MOCVD设备生产线技术运输效率低下的问题。

技术领域

本发明涉及自动化工艺、视觉检测自动化和机械手控制系统领域，特别是涉及一种应用于ZnO MOCVD设备的自动化工艺生产线。

背景技术

在生产过程自动化技术出现之前，工厂操作员必须人工监测设备性能指标和产品质量，以确定生产设备处于最佳运行状态，而且必须在停机时才能实施各种维护，这降低了工厂运营效率，且无法保障操作安全。生产过程自动化系统除了能够采集和处理信息，还能自动调节各种设备，优化生产。在必要时，工厂操作员可以中止自动化系统，进行手动操作。

视觉检测就是用机器代替人眼来做测量和判断。视觉检测是指通过机器视觉产品(即图像摄取装置，分CMOS和CCD两种，将被摄取目标转换成图像信号，传送给专用的图像处理系统，根据像素分布和亮度、颜色等信息，转变成数字化信号；图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征，进而根据判别的结果来控制现场的设备动作。是用于生产、装配或包装的有价值的机制。它在检测缺陷和防止缺陷产品被配送到消费者的功能方面具有不可估量的价值。

机械手是在自动化生产过程中发展起来的一种新型装置，广泛应用于工业生产和其他领域。可编程控制器(PLC)已在工业生产过程中得到广泛的应用。机械手控制系统搭载PLC程序。此机械运用到了步进电机、直流电机驱动和气压传动，能够使机械手满足控制要求，实现机械手的动作顺序安排。通过PLC的软件程序控制各电磁阀，驱动气缸动作，给出一定的脉冲驱动步进电机，从而控制机械手的动作。开发的物料搬运机械手可在空间抓放物体，动作灵活多样，可代替人工在高温和危险的作业区进行作业，并可根据工件的变化及运动流程的要求随时更改相关参数。

但是在现有的ZnO MOCVD设备生产线上，人力付出较多，不仅需要较多人力，而且工作量十分大，这就大大增加了劳动成本，降低了运输的效率。

发明内容

本发明是鉴于上述问题作出的，通过提供一种应用于ZnO MOCVD设备的自动化工艺生产线。使该生产线能减少人力，降低劳动成本，完成高效的运输。具体的，包括MOCVD换料仓，所述MOCVD换料仓内设有石墨盘，所述MOCVD换料仓一侧设有窗口，所述石墨盘下方设有石墨盘分割器及推送系统，所述石墨盘分割器及推送系统用于定位石墨盘和固定石墨盘推送位置，所述MOCVD换料仓周围与所述窗口同侧的方向设有料盒换料工作台，所述料盒换料工作台上以气动锁紧料盒的方式设有气动件，所述料盒换料工作台的周围以将料盒中的外延片吸取并放置到石墨盘上的方式设有机器人，所述MOCVD换料仓上设有PLC控制系统，所述PLC控制系统用于控制所述机器人动作。

优选的，所述料盒换料工作台上设有外延视觉定位系统，所述外延视觉定位系统设在所述机器人与石墨盘之间的机器人移动路径上。

优选的，所述外延视觉定位系统包括外延传感器和外延计时器，所述外延传感器用于所述机器人将外延片吸取并放置在外延视觉定位系统上时，辨别出外延片缺口的位置，所述外延计时器用于记录所述外延片到达石墨盘停留的时间。

优选的，所述石墨盘周围的MOCVD换料仓内设有石墨盘视觉定位系统。

优选的，所述石墨盘视觉定位系统包括传感器和计时器，所述传感器用于检测生长完成的石墨盘退出，经过石墨盘视觉定位系统定位石墨盘的方向，所述计时器用于记录外延片到达石墨盘停留的时间。