[发明专利]载置台及载置方法

权利要求书

1.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，

所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，

所述平面度调整部具备：

螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；

第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；

第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；

调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，在一端部具有容纳从所述贯通孔的出口突出的所述螺栓的螺纹部的容纳部，通过从所述载置台的背面旋转另一端部来调整所述载置台的表面的平面度；及

固定螺母，配置在所述调整螺钉的所述另一端部，将所述调整螺钉固定。

2.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，

所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整的位置姿势调整部，

所述位置姿势调整部具备：

升降销，具有对于从外部搬运的所述工件在所述载置台的铅垂方向上方进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；

控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及

夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，

所述升降销在接收所述工件时将所述载置面上升至所述载置台的铅垂方向上方，在接收所述工件之后将所述载置面下降至所述载置台的表面附近，在完成所述工件的位置及姿势的调整之后将所述载置面下降至所述载置台的铅垂方向下方，

所述控制部至少在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述位置姿势调整部调整所述工件的位置及姿势期间，允许所述工件的移动。

3.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，具备：

平面度调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整；及

位置姿势调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整，

所述平面度调整部具备：

螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；

第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；

第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；

调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，在一端部具有容纳从所述贯通孔的出口突出的所述螺栓的螺纹部的容纳部，通过从所述载置台的背面旋转另一端部来调整所述载置台的表面的平面度；及

固定螺母，配置在所述调整螺钉的所述另一端部，将所述调整螺钉固定，

所述位置姿势调整部具备：

升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；

控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及

夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，

所述控制部在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述夹紧部支承所述工件期间，允许所述工件的移动。

4.根据权利要求1或3所述的载置台，其特征在于，

所述载置台具备对所述载置台进行支承的多个腿部，

所述平面度调整部配置在所述腿部的附近。

5.根据权利要求2或3所述的载置台，其特征在于，

所述夹紧部支承所述工件的四个角部。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的载置台，其特征在于，

所述工件是在金属掩模框架安装有金属掩模片的金属掩模或所述金属掩模框架。