[发明专利]载置台及载置方法

说明书

提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及载置方法。所述载置台为载置矩形形状的工件的载置台(2)，具备对载置所述工件的所述载置台的表面(10a)的平面度进行调整的平面度调整部(4a～4x)，所述平面度调整部具备：螺栓(16)，配置于贯通所述载置台的贯通孔(28)；第一球面垫片(18)，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片(20)，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉(22)，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母(24)，将所述调整螺钉固定。

技术领域

本发明涉及用于载置金属掩模等工件的载置台及向该载置台载置工件的载置方法。

背景技术

以往，已知有具备对载置金属掩模等工件的玻璃板的平面度进行调整的平面度调整机构的玻璃制测定台(例如，参照专利文献1)。根据该玻璃制测定台，能够在玻璃板没有挠曲的状态下将工件载置于玻璃板上来进行检查。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开平9-033207号公报

【发明要解决的课题】

然而，在专利文献1等记载的玻璃制测定台(载置台)中，由于在检查时将工件直接载置于玻璃板，因此存在玻璃板容易损伤的问题。因此，在玻璃板的周围具备由陶瓷等构成的框状的载置台，在该载置台上载置矩形形状的工件并进行检查的检查装置被使用。

然而，为了使用上述的检查装置高精度地检查金属掩模等矩形形状的工件，需要使工件不变形地载置于载置台。而且，需要以避免产生工件相对于载置台的位置偏离及姿势偏离的方式将工件载置于载置台。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及向该载置台载置工件的载置方法。

【用于解决课题的方案】

本发明的载置台是载置矩形形状的工件的载置台，具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。

另外，本发明的载置台是载置矩形形状的工件的载置台，其特征在于，所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整的位置姿势调整部，所述位置姿势调整部具备：升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，所述控制部在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述夹紧部支承所述工件期间，允许所述工件的移动。