[发明专利]一种温度控制系统、光刻装置和温度控制方法

权利要求书

1.一种温度控制系统，其特征在于，包括：

温控介质供给模块，用于为冷热量输出模块提供温控气流；

冷热量输出模块，包括多级串联的涡流管，用于向温控对象输出冷量和/或热量；

温控检测模块，用于检测温控参数，所述温控参数至少包括输出的冷量对应的冷气流量及冷量温度和/或输出的热量对应的热气流量及热量温度，以及所述温控对象的温度；

控制模块，用于根据所述温控参数，调节所述冷气流量及所述冷量温度和/或所述热气流量及所述热量温度，以使所述温控对象的温度达到目标温度。

2.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述涡流管包括进气端、用于输出热量的热端和用于输出冷量的冷端，前一级涡流管的冷端与后一级涡流管的进气端相连。

3.根据权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于，所述多级串联的涡流管包括初级涡流管和次级涡流管，所述初级涡流管作为所述前一级涡流管，所述次级涡流管作为所述后一级涡流管；

所述初级涡流管的进气端通过进气管路与所述温控介质供给模块相连，所述初级涡流管的热端用于通过热量输出管路向所述温控对象输出热量，所述次级涡流管的冷端用于通过冷量输出管路向所述温控对象输出冷量。

4.根据权利要求3所述的温度控制系统，其特征在于，所述温控检测模块包括设置于所述热量输出管路上的第二温度传感器和第二流量传感器，设置于所述冷量输出管路上的第三温度传感器和第三流量传感器，以及设置于所述温控对象处的第四温度传感器；

所述第二温度传感器用于检测所述热量温度，所述第二流量传感器用于检测所述热气流量，所述第三温度传感器用于检测所述冷量温度，所述第三流量传感器用于检测所述冷气流量，所述第四温度传感器用于检测所述温控对象的温度。

5.根据权利要求3所述的温度控制系统，其特征在于，所述控制模块包括主控单元和辅控单元；

所述温度控制系统还包括数据采集模块，所述数据采集模块用于采集所述温控参数，并将所述温控参数反馈至所述主控单元；

所述主控单元用于根据所述温控参数向所述辅控单元发送控制信号，所述辅控单元用于根据所述控制信号调节所述冷气流量及所述冷量温度和/或所述热气流量及所述热量温度。

6.根据权利要求5所述的温度控制系统，其特征在于，所述辅控单元包括设置于所述热量输出管路上的第一自控流量调节阀，以及设置于所述次级涡流管的热端的第二自控流量调节阀；

所述第一自控流量调节阀用于根据所述控制信号，通过调节所述第一自控流量调节阀的开度调节所述热气流量及所述热量温度；所述第二自控流量调节阀用于根据所述控制信号，通过调节所述第二自控流量调节阀的开度调节所述冷气流量及所述冷量温度。

7.根据权利要求6所述的温度控制系统，其特征在于，所述辅控单元还包括设置于所述进气管路上的电磁阀和比例减压阀；

所述电磁阀用于控制所述温控气流的通断，所述比例减压阀用于调节进入所述初级涡流管的所述温控气流的气流量。

8.根据权利要求7所述的温度控制系统，其特征在于，所述温控检测模块还包括设置于所述进气管路上的第一流量传感器、第一温度传感器和第一压力传感器；

所述第一流量传感器用于检测所述温控气流的气流量，所述第一温度传感器用于检测所述温控气流的温度，所述第一压力传感器用于检测所述温控气流的压力。

9.根据权利要求3所述的温度控制系统，其特征在于，还包括设置于所述进气管路上的粒子过滤器，所述粒子过滤器用于净化所述温控气流。

10.根据权利要求3所述的温度控制系统，其特征在于，还包括设置于所述热量输出管路的输出端的热量导流器，以及设置于所述冷量输出管路的输出端的冷量导流器；

所述热量导流器用于调节输出的热量的均匀性，所述冷量导流器用于调节输出的冷量的均匀性。