[发明专利]靶材清洗方法、用于其的装置、靶材制造方法和靶材、及再循环铸锭制造方法和再循环铸锭

权利要求书

1.靶材的清洗方法，所述清洗方法包括下述工序：

从用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的溅射靶中分离所述靶材的工序；以及

通过向所述靶材的附着有所述接合材料的面喷射水，从而将所述接合材料从所述靶材除去的工序。

2.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其中，所述水的压力为90MPa以上。

3.如权利要求1或2所述的靶材的清洗方法，其中，所述金属为铝或铜。

4.靶材的制造方法，所述制造方法包括下述工序：实施权利要求1～3中任一项所述的清洗方法。

5.靶材，其特征在于，其是从用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的溅射靶中分离的靶材，并且，

通过能量色散型X射线荧光分析检测不到来自接合材料和支承构件的元素。

6.再循环铸锭的制造方法，所述制造方法包括下述工序：通过对实施了权利要求1～3所述的清洗方法的靶材进行铸造，从而得到包含所述金属的再循环铸锭。

7.再循环铸锭，其来自用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的溅射靶的靶材，所述再循环铸锭中，

来自所述接合材料和支承构件的元素的总量以重量基准计低于10ppm。

8.如权利要求7所述的再循环铸锭，其中，作为所述再循环铸锭的主成分的金属为铝或铜。

9.如权利要求7所述的再循环铸锭，其特征在于，作为所述再循环铸锭的主成分的金属为铝，所述杂质的总量以重量基准计低于5ppm。

10.装置，所述装置用于：向从用接合材料将主要由金属构成的靶材与支承构件结合而形成的溅射靶中分离的所述靶材的附着有所述接合材料的面喷射水，由此将所述接合材料从所述靶材除去，

所述装置包括：

具有至少1个用于向所述靶材喷射水的喷射口的至少1个喷嘴头；

用于操作所述喷嘴头的促动器；以及

用于配置所述促动器、收纳所述靶材并进行处理的处理室。

11.如权利要求10所述的装置，所述装置还包括：用于将所述靶材固定在所述处理室内的夹具。

12.如权利要求10或11所述的装置，所述装置还包括：用于使所述靶材翻转的翻转机构。

13.如权利要求10～12中任一项所述的装置，所述装置包括排水机构，所述排水机构用于将从所述喷射口喷射的水回收并进行排水、将包含从所述靶材除去的接合材料的处理物分离。