[发明专利]劣化诊断装置以及方法

说明书

本发明的劣化诊断装置以及方法能够更简便且更迅速地判断加热器的异常。对正常时的加热器(111)的加热器特性进行折线逼近以制作基准线，并根据制作好的基准线设定用于判定的容许范围。将设定后的容许范围存储在基准存储部(101)中，电流测定部(103)测定按照由控制值取得部(102)取得的控制值而供给至加热器(111)的电流以取得测定值，劣化判定部(104)根据由电流测定部(103)取得的测定值超出了容许范围的情况，判定加热器(111)的劣化。

技术领域

本发明涉及一种对具备加热器的加热装置的劣化进行诊断的劣化诊断装置以及方法。

背景技术

在工业工艺中，存在大量对材料进行加热的工艺。在这样的加热的工艺中，一般使用电热器(加热器)。另外，在电热器的动作控制中使用温度调节计。温度调节计使用热电偶、测温电阻体等温度传感器来测量加热器进行加热的处理对象(监视对象)的温度。测量出的温度在温度调节计中进行数值显示。

另外，在温度调节计中，依照检测出的温度(PV值)和设定温度(SP值)，求出控制输出(MV值)。将所求出的控制输出输出到基于电力调整器等的加热器操作器。通过加热器操作器，根据上述控制输出而控制来自商用电源的100V的驱动电流，并输出到加热器。通过这样控制的加热器的加热来控制处理对象的温度。另外，温度调节计具备异常检测功能，并检测作为监视对象的处理对象的异常温度、温度传感器的异常等，将检测出的异常现象作为事件信息而输出到外部，从而进行警报(警告)显示。例如在对温度进行数值显示的显示器上进行警报显示。

另外，在温度调节计中，检测加热器的断线等加热器自身的异常(参照专利文献1、2)。例如，测定施加到加热器的电流/电压而求出有效值电力，并根据电流与电压的关系而进一步地求出电阻值，根据所求出的电阻值的变化、变化的程度的差异来判断加热器的劣化(参照专利文献1)。另外，使用将控制输出和电流值的实测测定点表格化而得的数据来判断加热器劣化(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第2683851号公报

专利文献2：日本专利第3988942号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，在上述技术中，首先，需要测定流到加热器的电流以及施加到加热器的电压。另外，在上述技术中，电阻值等用于异常诊断的参数的计算繁琐。另外，在上述技术中，存在为了调查电阻值的时间变化，经过时间等的测定需要时间这样的问题。这样，在上述技术中，直至异常的判断为止，需要繁琐的计算以及测定。

本发明是为了解除上述问题点而完成的，其目的在于能够更简便且更迅速地判断加热器的异常。

解决技术问题的技术手段

本发明的劣化诊断方法包括：第1工序，准备基准线，所述基准线表示构成作为劣化诊断对象的加热装置的加热器的正常时的特性；第2工序，设定用于加热器的劣化诊断的容许范围；第3工序，取得用于控制加热器的控制值；第4工序，测定按照在第3工序中取得的控制值而测定供给至加热器的电流，以取得测定值；以及第5工序，当测定值超出容许范围时，判定为加热装置发生了劣化，在第1工序中，将加热器特性逼近线化以制作基准线，所述加热器特性表示正常时的加热器的控制值与对应的电流的关系，在第2工序中，根据基准线上的相对于控制值的电流值的上侧容许值以及下侧容许值来设定容许范围。