[发明专利]一种片状基板传送机构

权利要求书

1.一种片状基板的传送机构，包括基座、多个滚轮传送轴和多个托杆，多个所述滚轮传送轴并排连接于所述基座上，各个所述托杆可升降地连接于所述基座上且位于任意两个滚轮传送轴之间，所述托杆上排布有多个顶针，用于抬升片状基板，其特征在于，所述片状基板的传送机构还包括传感器和传感器轨道，所述传感器轨道包括第一轨道和第二轨道，所述第一轨道和第二轨道分别连接于所述基座上相对的两侧；所述传感器包括可升降的第一发射端和第一接收端，所述第一发射端可动地连接于所述第一轨道上，所述第一接收端可动地连接于所述第二轨道上，所述第一接收端接收所述第一发射端发射的探测光，从第一方向上探测位于设定高度的顶针。

2.根据权利要求1所述的片状基板的传送机构，其特征在于，所述第一发射端和第一接收端的数目为两个以上。

3.根据权利要求1所述的片状基板的传送机构，其特征在于，多个所述托杆上的顶针排列形成矩阵。

4.根据权利要求1所述的片状基板的传送机构，其特征在于，每两个所述托杆之间间隔的滚轮传送轴的数量相等。

5.根据权利要求1-4任一所述的片状基板的传送机构，其特征在于，所述传送机构还包括控制器，所述第一轨道和第二轨道为磁性滑轨，所述控制器分别与所述第一轨道和第二轨道电性连接，用于控制所述第一轨道电磁驱动所述第一发射端，并控制所述第二轨道电磁驱动所述第一接收端。

6.根据权利要求5所述的片状基板的传送机构，其特征在于，所述第一发射端通过滚轮滑动连接于所述第一轨道上，所述第一接收端通过滚轮滑动连接于所述第二轨道上。

7.根据权利要求5所述的片状基板的传送机构，其特征在于，所述传感器轨道还包括第三轨道和第四轨道，所述第三轨道和第四轨道分别连接于所述基座上相对的另外两侧，所述传感器还包括可升降的第二发射端和第二接收端，所述第二发射端可动地连接于所述第三轨道上，所述第二接收端可动地连接于所述第四轨道上，所述第二接收端接收所述第二发射端发射的探测光，从第二方向上探测位于设定高度的顶针。

8.根据权利要求7所述的片状基板的传送机构，其特征在于，所述第二发射端和第二接收端的数目为两个以上。

9.根据权利要求7所述的片状基板的传送机构，其特征在于，所述第三轨道和第四轨道为磁性滑轨，所述控制器还分别与所述第三轨道和第四轨道电性连接，用于控制所述第三轨道电磁驱动所述第二发射端，并控制第四轨道电磁驱动所述第二接收端。

10.根据权利要求9所述的片状基板的传送机构，其特征在于，所述第二发射端通过滚轮滑动连接于所述第三轨道上，所述第二接收端通过滚轮滑动连接于所述第四轨道上。