[发明专利]一种太阳能电池生产用蚀刻装置

权利要求书

1.一种太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于，包括蚀刻槽(1)和安装于蚀刻槽(1)上的喷淋装置(2)；

所述蚀刻槽(1)的前表面开有进料口(11)，所述蚀刻槽(1)的后表面开有与进料口(11)相配合的出料口(12)；所述蚀刻槽(1)的左、右侧表面均开有第一圆形通孔(13)，所述蚀刻槽(1)的右侧表面开有第二圆形通孔(14)；所述蚀刻槽(1)的左侧外表面设有蚀刻液槽(15)，所述蚀刻槽(1)的右侧表面设有集废液槽(16)，所述蚀刻液槽(15)和集废液槽(16)的内壁均安装有固定支架(19)；所述蚀刻槽(1)的左侧表面顶端边缘处固定有连接横梁(17)，所述连接横梁(17)的表面贯穿固定有蜗杆(18)；两个所述连接横梁(17)的相对表面开有第三圆形通孔，所述蜗杆(18)与第三圆形通孔配合，所述蜗杆(18)通过轴承安装于连接横梁(17)的表面；

所述喷淋装置(2)包括喷淋管(21)，所述喷淋管(21)的表面开有均匀密集分布的出液孔，所述喷淋管(21)与第一圆形通孔(13)配合，所述喷淋管(21)通过轴承安装于蚀刻槽(1)的表面，所述喷淋管(21)的表面固定有蜗轮(22)，所述蜗轮(22)位于蚀刻槽(1)的左侧外部，所述蜗轮(22)与蜗杆(18)啮合；所述喷淋管(21)的左侧端处通过轴套(23)连接有进液管(24)，所述进液管(24)的端口插入蚀刻液槽(15)，所述进液管(24)连接有微型抽水泵，所述出液管(25)的端口伸入集废液槽(16)内，所述喷淋管(21)的右侧端处通过轴套(23)连接有出液管(25)；所述出液管(25)的下方安装有排废液管(26)，所述排废液管(26)与第二圆形通孔(14)配合，所述排废液管(26)通过第二圆形通孔(14)固定于蚀刻槽(1)的侧壁，所述排废液管(26)的端口伸入集废液槽(16)；

太阳能电池片经传送轨道由进料口(11)输送入蚀刻槽(1)内，启动进液管(24)连接的微型抽水泵，蚀刻液经进液管(24)流入喷淋管(21)，同时，启动蜗杆(18)连接的伺服电机，伺服电机驱动蜗杆(18)旋转，通过蜗杆蜗轮之间的啮合传动，蜗轮(22)旋转，蜗轮(22)是固定于喷淋管(21)的表面的，喷淋管(21)在蜗轮(22)的带动下旋转，流入喷淋管(21)内的蚀刻液由出液孔喷洒而出，在离心力的作用下，蚀刻液均匀喷洒，同时，蚀刻液能喷洒在蚀刻槽(1)的内壁，从而有效避免黑色油性污垢积聚在蚀刻槽(1)内壁且持续对蚀刻槽(1)内壁进行清洗，蚀刻完成后，太阳能电池片经传送轨道由出料口(12)输出，完成蚀刻，下一个太阳能电池片继续送入蚀刻槽(1)进行蚀刻。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于，所述进料口(11)连接太阳能电池片的传送轨道，太阳能电池片经传送轨道由所述进料口(11)输送入蚀刻槽(1)内进行湿蚀刻。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于，所述固定支架(19)包括连接杆和固定于连接杆端处的固定环，所述进液管(24)和出液管(25)均固定于固定支架(19)的固定环内。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于，所述轴套(23)采用具有自润滑性能的POM塑料制成。