[发明专利]一种太阳能电池生产用蚀刻装置

说明书

本发明公开了一种太阳能电池生产用蚀刻装置，包括蚀刻槽和安装于蚀刻槽上的喷淋装置；所述蚀刻槽的前表面开有进料口，所述蚀刻槽的后表面开有与进料口相配合的出料口；所述蚀刻槽的左侧外表面设有蚀刻液槽，所述蚀刻槽的右侧表面设有集废液槽；所述蚀刻槽的左侧表面顶端边缘处固定有连接横梁，所述连接横梁的表面贯穿固定有蜗杆；所述喷淋装置包括喷淋管，所述喷淋管的表面固定有蜗轮；所述喷淋管的左侧端处通过轴套连接有进液管，所述喷淋管的右侧端处通过轴连接有出液管。本发明的蚀刻装置结构简单、操作自动化，蚀刻液喷洒均匀，蚀刻效果均匀，同时，具有稼动率高、清洗能力强且不会产生二次污染的优点。

技术领域

本发明属于太阳能电池生产技术领域，具体地，涉及一种太阳能电池生产用蚀刻装置。

背景技术

太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。太阳能作为一种绿色能源，太阳能电池行业近年来不断发展。

蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。经过不断改良和工艺设备发展，蚀刻技术可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，在太阳能电池的生产过程中，特别在太阳能电池片的制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。

常见的蚀刻装置包括喷淋嘴和传送轨道，喷淋嘴对蚀刻液的喷洒会出现喷洒不均匀的现象，出现因蚀刻效果不均匀，导致电路板的可靠性不良；

同时，湿蚀刻过程中，随着生产时间的累积，导致蚀刻装置的蚀刻槽内会积聚大量的黑色油性污垢，严重影响蚀刻槽内蚀刻液的特性，而对于黑色油性污垢的清洗通常是采用停机保养的方式，即先将蚀刻装置进行停机，再通过人工对蚀刻槽进行清洗。这种方式在清洗过程中降低了蚀刻装置的稼动率，清洗工作量大、效率低；同时，对于积累时间长的污垢需采用借助清洗工具和有机溶剂，导致蚀刻槽容易损坏且容易产生二次污染。

发明内容

针对上述背景技术中存在的不足，本发明提供了一种太阳能电池生产用蚀刻装置，该蚀刻装置结构简单，喷淋均匀，稼动率高、清洗能力强且不会产生二次污染。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种太阳能电池生产用蚀刻装置，包括蚀刻槽和安装于蚀刻槽上的喷淋装置；

所述蚀刻槽的前表面开有进料口，所述蚀刻槽的后表面开有与进料口相配合的出料口；所述蚀刻槽的左、右侧表面均开有第一圆形通孔，所述蚀刻槽的右侧表面开有第二圆形通孔；所述蚀刻槽的左侧外表面设有蚀刻液槽，所述蚀刻槽的右侧表面设有集废液槽，所述蚀刻液槽和集废液槽的内壁均安装有固定支架；所述蚀刻槽的左侧表面顶端边缘处固定有连接横梁，所述连接横梁的表面贯穿固定有蜗杆；

所述喷淋装置包括喷淋管，所述喷淋管的表面开有均匀密集分布的出液孔，两根所述喷淋管贯穿固定于蚀刻槽的两侧表面，所述喷淋管的表面固定有蜗轮，所述蜗轮位于蚀刻槽的左侧外部，所述蜗轮与蜗杆啮合；所述喷淋管的左侧端处通过轴套连接有进液管，所述喷淋管的右侧端处通过轴连接有出液管；所述出液管的下方安装有排废液管。

进一步地，所述进料口连接太阳能电池片的传送轨道，太阳能电池片经传送轨道由所述进料口输送入蚀刻槽内进行湿蚀刻。

进一步地，所述固定支架包括连接杆和固定于连接杆端处的固定环，所述进液管和出液管均固定于固定支架的固定环内。

进一步地，两个所述连接横梁的相对表面开有第三圆形通孔，所述蜗杆与第三圆形通孔配合，所述蜗杆通过轴承安装于连接横梁的表面。

进一步地，所述喷淋管与第一圆形通孔配合，所述喷淋管通过轴承安装于蚀刻槽的表面。