[发明专利]一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法

权利要求书

1.一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，包括：

机台，具有报警系统，所述报警系统针对各类异常输出报警信息；

机台主系统，与所述机台电讯号连接，并接收来自所述机台之报警系统的报警信息；以及，

报警恢复系统，与所述机台主系统电讯号连接，用以接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令，以反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。

2.如权利要求1所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述机台用以进行铜研磨制程。

3.如权利要求1所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述机台之正常工艺状态发生异常时所述报警系统输出报警信息。

4.如权利要求1所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述报警信息为：I类报警，所述I类报警之异常为机台的至少其中之一关键部件异常；II类报警，所述II类报警之异常为研磨液异常、制品消耗品到寿命需更换异常的至少其中之一；III类报警，所述III类报警之异常为清洗单元异常；IV类报警，所述IV类报警之异常为终点监测系统异常、研磨部件异常的至少其中之一。

5.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，所述关键部件为HCLU、干燥部件、电源的至少其中之一。

6.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，针对I类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台停止。

7.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，针对II类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台正常运转，机台之腔体内的制品正常完成，后续制品不连续进入机台。

8.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，针对III类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台正常运转，非关键异常腔体内的制品保持位置不变，后续制品跳过异常单元继续进行，但后续制品不连续进入机台。

9.如权利要求4所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，其特征在于，针对IV类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台停止并促发自动恢复功能，自动回收制品到开始位置。

10.一种如权利要求1所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置之方法，其特征在于，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置之方法，包括：

执行步骤S1：所述机台之报警系统针对各类异常输出报警信息；

执行步骤S2：与所述机台电讯号连接的机台主系统接收来自所述机台之报警系统的报警信息，并将所述报警信息输出至报警恢复系统；

执行步骤S3：与所述机台主系统电讯号连接的报警恢复系统接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令；

执行步骤S4：所述报警恢复系统发出的报警操作指令反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。