[发明专利]一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法

说明书

本发明公开一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法。改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置包括：机台，具有报警系统，并针对各类异常输出报警信息；机台主系统，与机台电讯号连接，并接收来自报警系统的报警信息；报警恢复系统，与机台主系统电讯号连接，用以接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对报警信息进行分类，进而根据所属分类发出报警操作指令，以反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。本发明对于机台可自动恢复的报警信息，促发所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置对腔体内的制品实现自动传送，输出机台，便最大可能的避免由于机台报警未及时有效处理造成产品报废的风险。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法。

背景技术

众所周知地，铜研磨制程由于机台报警而造成的产品报废，已经占据铜研磨制程中整个制品报废的65％左右，其报废的主要原因是机台报警之后，而工程师没有在三分钟之内进行有效处理，进而造成整个腔体内的制品受到化学品腐蚀的时间过长，使铜线形成严重损伤，造成产品报废。

目前，铜研磨制程中对于处理铜研磨制程机台报警主要的处理方式仍然集中在人力的管控上，工程师必须值守在车间里以及强化处理流程等。但是，这种控制方式在量产产品的车间里虽然投入了较大的人力，但却无法取得良好的效果，还是需要从技术角度去避免人力的投入，同时实现高效的报警处理。

寻求一种可以对机台报警进行高效、及时处理的装置和方法已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法。

发明内容

本发明是针对现有技术中，铜研磨制程中对于处理铜研磨制程机台报警主要的处理方式仍然集中在人力的管控上，工程师必须值守在车间里以及强化处理流程，虽然投入人力较大，但效果欠佳等缺陷提供一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置。

本发明之又一目的是针对现有技术中，铜研磨制程中对于处理铜研磨制程机台报警主要的处理方式仍然集中在人力的管控上，工程师必须值守在车间里以及强化处理流程，虽然投入人力较大，但效果欠佳等缺陷提供一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的方法。

为实现本发明之目的，本发明提供一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置，包括：机台，具有报警系统，所述报警系统针对各类异常输出报警信息；机台主系统，与所述机台电讯号连接，并接收来自所述机台之报警系统的报警信息；以及报警恢复系统，与所述机台主系统电讯号连接，用以接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对所述报警信息进行分类，进而根据所述报警信息之所属分类发出报警操作指令，以反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。

可选地，所述机台用以进行铜研磨制程。

可选地，所述机台之正常工艺状态发生异常时所述报警系统输出报警信息。

可选地，所述报警信息为：I类报警，所述I类报警之异常为机台之至少其中之一关键部件异常；II类报警，所述II类报警之异常为研磨液异常、制品消耗品到寿命需更换异常的至少其中之一；III类报警，所述III类报警之异常为清洗单元异常；IV类报警，所述IV类报警之异常为终点监测系统异常、研磨部件异常的至少其中之一。

可选地，所述关键部件为HCLU、干燥部件、电源的至少其中之一。

可选地，针对I类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台停止。

可选地，针对II类报警，所述报警恢复系统发出的报警操作指令为机台正常运转，机台之腔体内的制品正常完成，后续制品不连续进入机台。