[发明专利]微型芯片转移系统及方法有效
申请号: | 201810293002.2 | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN108490341B | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 杨涛;陶贤文;许晋源 | 申请(专利权)人: | 惠州雷通光电器件有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01M11/00 |
代理公司: | 广东朗乾律师事务所 44291 | 代理人: | 杨焕军 |
地址: | 516021 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微型芯片 电学测试 拾取装置 测试电极 拾取 测试电路 芯片电极 转移系统 自由端 测试 存放装置 电学性能 定位操作 装置定位 装置固定 | ||
本发明公开了一种微型芯片转移系统,包括用于放置微型芯片的存放装置,用于拾取微型芯片的拾取装置,用于测试微型芯片的电学测试装置以及用于接收微型芯片的接收装置;所述电学测试装置包括测试电极以及测试电路;所述测试电极的一端与所述测试电路连接,另一端为自由端;所述微型芯片包括芯片电极;还包括载体;所述电学测试装置与所述拾取装置均固定安装在所述载体上;所述测试电极的自由端在所述拾取装置拾取所述微型芯片时与所述芯片电极连接;本发明通过将拾取装置与电学测试装置固定安装在载体上,使电学测试装置不需要进行定位操作,就可以测试拾取装置拾取的微型芯片的电学性能,降低了电学测试装置定位不准造成误差的风险。
〖技术领域〗
本发明涉及微型芯片转移技术领域,具体涉及一种微型芯片转移系统及方法。
〖背景技术〗
微型芯片是指尺寸达到微米级的芯片。微型芯片在制造完成以后,一般会进行转移,转移到接收装置上,形成阵列。如何将微型芯片从施体基板上转移到接收基板上是本领域技术人员需要解决的问题。
公开号为CN106601657A的发明专利公开了一种微元件的转移装置、转移方法、制造方法、装置和电子设备,其中微元件的转移系统,包括:主拾取装置,用于拾取或释放微元件;测试装置,具有测试平台和一系列测试电路,所述平台表面上设有一系列测试电极,与所述测试电路连接;第一载盘,用于放置原始的微元件阵列;第二载盘,用于放置接收基板;在使用所述转移系统进行转移微元件过程中,采用所述主拾取装置拾取微元件并将其移至测试装置的平台上,采用该测试装置测试微元件,根据测试结果将所述主拾取装置拾取的微元件中合格的微元件释放于接收基板上。
上述专利虽然能实现微元件的转移与测试,但仍存在以下不足:测试装置未与主拾取装置设置在一起,需要经过定位再测试微元件。测试装置定位不准会增加测试装置存在测试误差的风险。
公开号为CN107425101A的发明专利公开了一种微型发光二极管芯片巨量转移的方法,包括:制作若干第一Micro LED芯片,第一Micro LED芯片的P型电极和N型电极同一侧为异名磁极;在驱动电路板上安装第一Micro LED芯片的位置上设置P型电极固定块和N型电极固定块,P型电极固定块和P型电极的相对侧为异名磁极,N型电极固定块和N型电极的相对侧为异名磁极;将驱动电路板和若干第一Micro LED芯片放入同一溶液中,第一MicroLED芯片在磁力的作用下固定安装在驱动电路板上。
上述专利虽然能实现微型发光二极管芯片的巨转移,但仍存在以下不足:不同的第一Micro LED芯片的P型电极与N型电极为异名磁极,可能会相互吸引在一起,进而不能被驱动电路板上的P型电极固定块与N型电极固定块吸引。
〖发明内容〗
本发明的第一个目的旨在提供一种微型芯片转移系统,使电学测试装置在拾取装置拾取了微型芯片之后,不经过定位就可以测试微型芯片的电学性能。
为了实现本发明的第一个目的,本发明采取了如下的技术方案:
微型芯片转移系统,包括用于放置微型芯片的存放装置,用于拾取微型芯片的拾取装置,用于测试微型芯片的电学测试装置以及用于接收微型芯片的接收装置;所述电学测试装置包括测试电极以及测试电路;所述测试电极的一端与所述测试电路连接,另一端为自由端;所述微型芯片包括芯片电极,其特征在于:还包括载体;所述电学测试装置与所述拾取装置均固定安装在所述载体上;所述测试电极的自由端在所述拾取装置拾取所述微型芯片时与所述芯片电极连接;所述测试电路在所述测试电极与所述芯片电极连接时输出电信号给所述芯片电极。
进一步地,所述拾取装置包括磁性吸嘴;所述微型芯片包括磁性引脚;所述磁性引脚为所述微型芯片的具有磁性的引脚;所述磁性吸嘴在拾取所述微型芯片时具有与所述磁性引脚不同的磁性;所述磁性吸嘴在释放所述微型芯片时具有与所述磁性引脚相同的磁性或磁性消失;所述测试电极在所述磁性吸嘴拾取所述微型芯片时与所述芯片电极连接。
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