[发明专利]一种封装柔性显示薄膜的装置、系统及方法

权利要求书

1.一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，包括：箱体、气体通道组件和喷头阵列组件；

气体通道组件和喷头阵列组件按照预设工艺顺序及方向布置于箱体中；

气体通道组件用于无机膜的制备，包括一个前驱气体通道层、两个废气通道层和两个惰性气体通道层，前驱气体通道层位于两个废气通道层之间，两个惰性气体通道层分别位于两个废弃通道层的外侧；前驱气体通道层用于通入所需沉积无机膜的相应气体，废气通道层用于废气的排出，惰性气体通道层用于清除多余的前驱气体；

喷头阵列组件设于气体通道组件前方，包括喷头组、平面电极板阵列、供墨腔；喷头组包括多个并排布置的喷头，喷头入口连接墨腔。

2.根据权利要求1所述的一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，喷头阵列组件包括UV灯和红外灯，所述红外灯用于干燥和固化从喷头喷出的液体；UV灯设于喷头阵列前方，红外灯设于喷头阵列后方，UV灯和红外灯用于使从喷头喷到待封装器件表面的液体有机物迅速干燥和固化，为后续无机薄膜沉积做准备。

3.根据权利要求1所述的一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，箱体包括三个通槽，三个通槽的形状尺寸完全相同，气体通道组件和喷头阵列组件的形状尺寸一致，且与三个通槽的形状尺寸相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，两个惰性气体通道层的外侧各设有一个密封板。

5.根据权利要求1～4任意一项所述的一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，喷头连接电源负极；平面电极板阵列包括两块金属电极板，分别固定在喷头阵列组件底部前后两侧，并呈对称分布，两块金属电极板电位为正且小于喷头所连接的电位。

6.根据权利要求1～4任意一项所述的一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，前驱气体通道层包括基板，基板具有向下开口的V形缺口，V形缺口贯通基板前后表面。

7.根据权利要求6所述的一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，V形缺口的两条边横向延伸出多个滤网固定槽，用于固定滤网。

8.根据权利要求1～4任意一项所述的一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，废气通道层、惰性气体通道层包括基板，基板具有向下开口的V形缺口，V形缺口贯通基板前后表面。

9.一种封装柔性显示薄膜的系统，其特征在于，包括：控制器、前驱气体供气单元、惰性气体供气单元、供液单元、喷射电源以及权利要求1～8任意一项所述的装置；

前驱气体供气单元连接前驱气体通道层，用于提供前驱气体；

惰性气体供气单元连接惰性气体通道层，用于提供惰性气体；

供液单元连接喷头阵列组件，用于提供沉积液；

喷射电源的负极连接喷头，正极连接平面电极板阵列，用于提供电流体的喷射电压；

控制器用于根据封装指令调节前驱气体供气单元、惰性气体供气单元、供液单元的供给量和喷射电源正负极的电位差。

10.一种基于权利要求9所述的系统的封装柔性显示薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)根据所需封装的有机物种类数量，串联等数量的封装柔性显示薄膜的装置；

(2)分别向各封装柔性显示薄膜的装置的墨腔通入待封装的对应有机物溶液，并为各封装柔性显示薄膜的装置中的喷头接+V₁的电压；

(3)打开封装柔性显示薄膜的装置中相应的UV灯，并为相应的电极板4连接+V₂的电压，调节V₂，使得从喷头喷出的雾化墨滴聚焦在一个平面内，V₂<V₁；

(4)待沉积点P依次经过封装柔性显示薄膜的装置，按顺序沉积对应的有机物层，并在每次沉积前后，经所处的封装柔性显示薄膜的装置中的UV灯和红外灯烘干，最终形成预定沉积分布的多层柔性显示薄膜封装。