[发明专利]一种封装柔性显示薄膜的装置、系统及方法

说明书

本发明公开了一种封装柔性显示薄膜的装置、系统及方法，包括箱体、气体通道组件、喷头阵列组件。本发明将喷头阵列组件和气体通道组件在箱体内交错排列，其位置和数量可以根据实际封装层数的需要进行调整。喷头阵列组件与有机墨液腔相连，下面通过两块平行的带电平板对雾化墨液进行平面聚焦，可以实现有机薄膜的制取；通过向前驱体通道交替输入前驱气体和惰性气体，可以实现无机薄膜的制备。本发明将ALD和电喷印有机结合，克服传统的单一OLED封装技术的缺点，可以高效地同时进行多层有机‑无机薄膜的制备，能够大大提高封装效率和降低封装成本，在柔性OLED封装领域具有潜在的应用前景。

技术领域

本发明属于电流体喷印和原子层沉积领域，更具体地，涉及一种柔性显示薄膜封装的电流体喷印-ALD组合装置和方法。

背景技术

柔性电子因具有独特的柔性、适合穿戴、可大面积集成等优点而被广泛应用于能源、医疗和柔性显示等行业中。其中，OLED因其简单的结构、响应速度快、能耗低和宽视角等优点而成为柔性显示最具发展前景的技术之一，而OLED的有机发光层对空气中的氧气和水蒸气十分敏感，极大地影响了OLED的使用寿命。为了进一步提高OLED的性能，对OLED的封装技术提出了更高的要求。

现在OLED常用的封装方式为薄膜封装，其中最具代表性的是Barix技术、ALD(原子层淀积)技术、喷墨打印封装技术和离子束同步混合技术。Barix技术能够实现较高产业化的多层无机膜的封装，但其工艺繁琐且成本高，ALD技术台阶覆盖率高、适应于大表面沉积、厚度纳米级可控、成膜质量均一性好、质量高但效率较低，喷墨打印封装技术能够实现低沉本的有机薄膜封装但成膜效果差，离子束同步混合技术能实现致密的阻水养性能好的膜但设备机构复杂。

因此，目前亟需一种低成本、高效率地实现有机-无机薄膜的混合封装的技术。

发明内容

针对上述技术缺陷，本发明提供了一种电流体喷印-ALD组合装置，其目的在于，通过对阵列化电流体喷印喷头和ALD装置进行交叉组合，利用平面电极板对雾化液滴进行聚焦，实现多层有机-无机混合薄膜的制备。

为实现上述目的，本发明提供了一种封装柔性显示薄膜的装置，其特征在于，包括：箱体、气体通道组件和喷头阵列组件；

气体通道组件和喷头阵列组件按照预设工艺顺序及方向布置于箱体中；

气体通道组件用于无机膜的制备，包括一个前驱气体通道层、两个废气通道层和两个惰性气体通道层，前驱气体通道层位于两个废气通道层之间，两个惰性气体通道层分别位于两个废弃通道层的外侧；前驱气体通道层用于通入所需沉积无机膜的相应气体，废气通道层用于废气的排出，惰性气体通道层用于清除多余的前驱气体；

喷头阵列组件设于气体通道组件前方，包括喷头组、平面电极板阵列、供墨腔；喷头组包括多个并排布置的喷头，喷头入口连接墨腔。

进一步地，喷头阵列组件包括UV灯和红外灯，所述红外灯用于干燥和固化从喷头喷出的液体；UV灯设于喷头阵列前方，红外灯设于喷头阵列后方，UV灯和红外灯用于使从喷头喷到待封装器件表面的液体有机物迅速干燥和固化，为后续无机薄膜沉积做准备。

进一步地，箱体包括三个通槽，三个通槽的形状尺寸完全相同，气体通道组件和喷头阵列组件的形状尺寸一致，且与三个通槽的形状尺寸相匹配。

进一步地，两个惰性气体通道层的外侧各设有一个密封板。

进一步地，喷头连接电源负极；平面电极板阵列包括两块金属电极板，分别固定在喷头阵列组件底部前后两侧，并呈对称分布，两块金属电极板电位为正且小于喷头所连接的电位。

进一步地，前驱体通道层包括基板，基板具有向下开口的V形缺口，V形缺口贯通基板前后表面。所述V形缺口做为前驱体的流入通道。