[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂

权利要求书

1.一种金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，其特征在于，包括如下组分及其质量百分比：分散剂0.1％-1％、碱性物质0.1％-1％、润湿剂0.005％-0.1％、鳌合剂0.05％-0.5％、抗再沉淀剂0.1％-1％、余量为去离子水。

2.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，其特征在于，所述分散剂为木质素磺酸钾、木质素磺酸钠、或两者的混合物。

3.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，其特征在于，所述碱性物质为氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钾、碳酸钠中的任意一种或一种以上的混合物。

4.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，其特征在于，所述润湿剂为烷基糖苷、萘酚聚氧乙烯醚、或两者的混合物。

5.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，其特征在于，所述鳌合剂为甲酸钠、甲酸钾、乙酸钠、乙酸钾中的任意一种或一种以上的混合物。

6.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，其特征在于，所述抗再沉淀剂为羧甲基纤维素钠，包括单一粘度或不同粘度的羧甲基纤维素钠的一种或一种以上的混合物。

7.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，其特征在于，包括如下组分及其质量百分比：木质素磺酸钠0.2％-0.8％、氢氧化钾和碳酸钾的混合物0.2％-0.8％、萘酚聚氧乙烯醚0.01％-0.05％、乙酸钠0.1％-0.4％、粘度为100-2000cp的羧甲基纤维素钠0.2％-0.8％、余量为去离子水。