[发明专利]流体传感器、提供流体传感器的方法和确定流体组分的方法有效
申请号: | 201810307700.3 | 申请日: | 2018-04-08 |
公开(公告)号: | CN108693220B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | M·柯尼希;G·鲁尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 郑立柱 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流体 传感器 提供 方法 确定 组分 | ||
1.一种流体传感器,具有:
传感器材料(12),所述传感器材料具有表面区域,其中所述表面区域被配置为与流体(16)接触,所述传感器材料被配置为在第一传感器配置中基于与所述流体的接触而获得所述传感器材料(12)的电阻值(Ω)的第一时间上的变化(R1(t)),并且在第二传感器配置中基于与所述流体的接触而获得所述传感器材料(12)的所述电阻值(Ω)的第二时间上的变化(R2(t));以及
输出元件(22),所述输出元件被配置为基于所述电阻值(Ω)的第一时间上的变化(R1(t))和第二时间上的变化(R2(t))来提供传感器信号(24)。
2.根据权利要求1所述的流体传感器,其中,所述第一时间上的变化(R1(t))基于所述流体(16)的第一组分和第二组分,所述第二时间上的变化(R2(t))基于所述流体(16)的第一组分和第二组分。
3.根据权利要求1所述的流体传感器,所述流体传感器包括具有第一传感器配置的第一传感器区域(18a),并且所述流体传感器包括具有第二传感器配置的第二传感器区域(18b)。
4.根据权利要求3所述的流体传感器,其中,所述传感器材料(12)在所述第一传感器区域(18a)中具有第一层厚度(d1)并且在所述第二传感器区域(18b)中具有第二层厚度(d2)。
5.根据权利要求3或4所述的流体传感器,其中,所述第一传感器区域(18a)和所述第二传感器区域(18b)形成传感器区域堆叠。
6.根据权利要求3或4所述的流体传感器,其中,所述第一传感器区域(18a)和所述第二传感器区域(18b)在横向上被彼此间隔地布置。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的流体传感器,其中,所述传感器材料(12)被构造成,针对所述流体(16)的组分,在所述第一传感器配置中提供第一扩散常数并且在所述第二传感器配置中提供第二扩散常数,所述第一扩散常数提供所述电阻值(Ω)的第一时间上的变化(R2(t)),所述第二扩散常数提供所述电阻值(Ω)的第二时间上的变化(R2(t))。
8.根据权利要求1至4中任一项所述的流体传感器,还包括温度改变元件(38a-e),所述温度改变元件被构造成加热或冷却所述传感器材料(12),其中,所述第一传感器配置包括所述传感器材料(12)的第一温度,并且其中所述温度改变元件被构造成基于所述传感器材料(12)的温度变化来提供所述第二传感器配置。
9.根据权利要求8所述的流体传感器,其中所述温度改变元件(38a-e)布置在所述流体传感器的衬底材料(28)和所述传感器材料(12)之间。
10.根据权利要求1至4中任一项所述的流体传感器,还包括多个电极(32a-l),所述多个电极被构造成在第一时间间隔期间在所述传感器材料(12)中施加第一电压(U1),以获得在所述传感器材料(12)中的第一传感器配置,并且在第二时间间隔期间在所述传感器材料(12)中施加第二电压(U2),以获得所述传感器材料(12)中的第二传感器配置。
11.根据权利要求1至4中任一项所述的流体传感器,还包括多个电极(32a-l),所述多个电极被构造成在第一传感器材料区域中施加第一电压(U1),以获得在所述第一传感器材料区域中的第一传感器配置,并且在第二传感器材料区域中施加第二电压(U2),以获得在所述第二传感器材料区域中的第二传感器配置。
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