[发明专利]流体传感器、提供流体传感器的方法和确定流体组分的方法

说明书

本公开涉及一种流体传感器，包括：传感器材料，该传感器材料被配置为在所述传感器材料的表面区域处与流体接触，并且在第一传感器配置中基于所述接触而获得所述传感器材料的电阻值的第一时间上的变化，并且在第二传感器配置中基于所述接触获得所述传感器材料的所述电阻值的第二时间上的变化。流体传感器包括输出元件，该输出元件被配置为基于电阻值的第一时间上的变化和第二时间上的变化来提供传感器信号。

技术领域

本公开涉及一种诸如气体传感器的流体传感器，涉及一种提供流体传感器的方法以及涉及一种确定流体组分的方法。本公开还涉及基于扩散的多气体传感器。

背景技术

流体传感器实现确定流体中组分的浓度或存在。为此，诸如传感器材料中的电容或电阻的性质可以响应于其与流体的接触而改变，因此通过检测变化的物理性质可以得出对流体性质的结论。

发明内容

能够实现准确表征流体的流体传感器的值得期望的。

实施例提供了一种具有传感器材料的流体传感器，该传感器材料被配置为在其表面区域处接触流体并且在第一传感器配置中基于该接触来获得传感器材料的电阻值的第一时间上的变化。传感器材料被配置成在第二传感器配置中基于该接触获得传感器材料的电阻值的第二时间上的变化。流体传感器包括输出元件，该输出元件被配置为基于电阻值的第一时间上的变化和第二时间上的变化来提供传感器信号。获得电阻值的两个时间上的变化实现准确表征流体。

另一实施例提供了一种气体传感器，具有带有第一层厚度的第一传感器层，第一传感器层布置在第一电极对之间，并且被构造成基于气体材料，提供在第一电极对之间的第一传感器层的电阻值的基于与气体材料的接触的第一时间上的变化。气体传感器包括具有第二层厚度的第二传感器层，第二传感器层布置在第二电极对之间并且被构造成基于气体材料，提供在第二电极对之间的第二传感器层的电阻值的第二时间上的变化。气体传感器包括评估设备，评估设备被构造成：基于第一时间上的变化和第二时间上的变化来提供评估信号，评估信号显示关于气体材料的组分的信息。

另一实施例提供了一种用于提供流体传感器的方法。该方法包括提供传感器材料，使得该传感器材料被配置成在其表面区域处与流体接触。该提供这样进行，即，在第一传感器配置中基于与流体的接触而获得传感器材料的电阻值的第一时间上的变化，并且在第二传感器配置中基于该接触而获得传感器材料的电阻值的第二时间上的变化。所述方法包括布置输出元件，从而基于电阻值的第一时间上的变化和第二时间上的变化能够提供传感器信号。

根据一个实施例，用于确定流体的组分的方法包括将流体与传感器材料进行接触。所述方法包括检测在第一传感器配置中的传感器材料的电阻值的第一时间上的变化曲线；所述方法还包括检测在第二传感器配置中的传感器材料的电阻值的第二时间上的变化曲线。该方法包括评估电阻值的第一时间上的变化曲线和第二时间上的变化曲线，并且包括提供关于流体中的组分的浓度的信息。

附图说明

在下文参考附图阐释实施例。图示：

图1a是根据一个实施例的流体传感器的示意性透视图；

图1b是关于时间的并且根据一个实施例的图1a中的流体传感器的传感器材料的电阻值的两个时间上的电阻变化的示意图；

图2a是根据一个实施例的具有三种传感器配置的流体传感器的示意性侧剖视图；

图2b是根据一个实施例的图2a中的三个传感器配置的三个时间上的电阻变化的示意图；

图3是示出了根据实施例的流体传感器的电路的示意等效电路图；

图4a至图4d是根据实施例的流体传感器的不同配置的示意图；

图5a是根据一个实施例的包括在层堆叠的材料层之间的温度改变元件的流体传感器的示意性侧剖视图；