[发明专利]扫描曝光装置

权利要求书

1.一种扫描曝光装置，其使在从中心线以规定的半径弯曲成圆筒状的外周面上形成有电子设备用的图案的圆筒光罩绕所述中心线旋转，并使被支承为圆筒状或平面状的基板以对应于所述圆筒光罩的旋转速度的速度移动，由此，将所述圆筒光罩的图案曝光至所述基板，所述扫描曝光装置的特征在于，

具有支承机构，其在曝光装置主体上可旋转地支承向所述圆筒光罩的所述中心线延伸的方向上的两侧突出的转轴，并且在改变所述圆筒光罩的所述中心线与所述基板之间的距离的Z方向上能够相对于所述曝光装置主体移动所述圆筒光罩，

所述支承机构包括：可旋转地支承所述转轴的可动体；借助能够绕与所述Z方向平行的轴线旋转地被轴支承的滚珠丝杠和设于所述可动体的凸轮构件以改变所述可动体相对于所述曝光装置主体在所述Z方向上的位置的方式在Z方向上驱动所述可动体的驱动源；以及用于借助所述可动体支承所述圆筒光罩的自重的大部分来减轻所述驱动源的负荷的弹性支承构件。

2.根据权利要求1所述的扫描曝光装置，其特征在于，

所述支承机构还包括以亚微米以下的测量分辨率对所述可动体在所述Z方向上的位置进行测量的长度测量仪，

所述驱动源是基于由所述长度测量仪测得的测量值而被伺服控制的。

3.根据权利要求2所述的扫描曝光装置，其特征在于，

所述弹性支承构件由空气活塞构成，所述空气活塞通过供给至内部的压缩气体的气压来支承所述圆筒光罩的自重的大部分。

4.根据权利要求3所述的扫描曝光装置，其特征在于，

在能够安装于所述曝光装置主体的所述圆筒光罩的外周面的直径被设为最大直径DSa与最小直径DSb之间时，所述可动体的所述Z方向上的移动行程被设定为(DSa-DSb)/2以上。

5.根据权利要求4所述的扫描曝光装置，其特征在于，

供给至所述空气活塞的所述压缩气体的压力根据因安装于所述曝光装置主体的所述圆筒光罩的外周面的直径而变化的所述圆筒光罩的自重来调整。

6.根据权利要求5所述的扫描曝光装置，其特征在于，

在所述可动体的下侧设有凸轮构件，

所述扫描曝光装置还设置有对作用于支承所述转轴的所述可动体与所述凸轮构件之间的载重的变化进行测量的载重传感器_、或对由因所述凸轮构件在所述Z方向上的应力而引起的变形进行测量的应变传感器，

供给至所述空气活塞的所述压缩气体的压力基于所述载重传感器或所述应变传感器的测量值而被伺服控制。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的扫描曝光装置，其特征在于，

所述支承机构被设为分别支承向所述圆筒光罩的所述中心线延伸的方向的两侧突出的所述转轴的每一个，

通过所述驱动源分别调整所述支承机构的每一个所包含的所述可动体在所述Z方向上的位置，来调整所述中心线相对于所述基板的斜率。

8.一种扫描曝光装置，其使在从中心线以规定的半径弯曲成圆筒状的外周面上形成有电子设备用的图案的圆筒光罩绕所述中心线旋转，将由所述圆筒光罩的图案产生的投影光束经由投影光学系统而投影曝光至以对应于所述圆筒光罩的旋转速度的速度移动的基板上，所述扫描曝光装置的特征在于，

具有支承结构，其在曝光装置主体上以使所述圆筒光罩绕所述中心线旋转的方式进行支承，并且为了能够将所述外周面的直径彼此不同的第一圆筒光罩和第二圆筒光罩的某一个安装于所述曝光装置主体，在改变所述中心线与所述投影光学系统之间的距离的Z方向上能够相对于所述曝光装置主体移动所述圆筒光罩，

在将安装于所述曝光装置主体的所述第一圆筒光罩更换成所述第二圆筒光罩时，所述支承机构以将更换后的所述第二圆筒光罩的外周面设定在与所述第一圆筒光罩的外周面中设定有所述投影光学系统的投影视场的所述Z方向上的位置相同的位置的方式，调整所述第二圆筒光罩在所述Z方向上的位置。