[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，具备：振荡部，其生成加工用的激光束；封入部，其封入有第一气体；以及排气部，其随着所述振荡部的动作将第一气体与在所述封入部中产生的尘垢一起排出，其中，

所述排气部具备：

干式泵；

第一线路，其用于将所述封入部与所述干式泵之间进行连接；

第二线路，其用于向所述干式泵供给压力比第一气体的压力高的第二气体；

阀部，其用于将所述第一线路和所述第二线路打开和关闭；以及

控制部，其用于控制所述阀部的开闭。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述第二线路连接于所述第一线路的途中，

所述阀部是配置于将所述第一线路与所述第二线路连接的连接部的三通阀，

所述控制部控制所述三通阀，使得从第一流入状态切换为第二流入状态，并在经过规定时间后切换为所述第一流入状态，其中，所述第一流入状态为第一气体从所述第一线路向所述干式泵流入的状态，所述第二流入状态为第二气体从所述第二线路向所述干式泵流入的状态。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述阀部具备：

第一截止阀，其用于将所述第一线路打开和关闭；以及

第二截止阀，其用于将所述第二线路打开和关闭，

所述控制部打开所述第一截止阀和所述第二截止阀，来分别从所述第一线路和第二线路向所述干式泵供给第一气体和第二气体，在经过规定时间后关闭所述第二截止阀。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，

所述第二线路连接于所述封入部。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制部基于预先决定的开闭定时将所述阀部打开和关闭。

6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制部基于从所述阀部的上次的开闭动作起经过的经过时间来使所述阀部打开和关闭。

7.根据权利要求5或6所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制部基于从所述振荡部的运行开始起的累计时间来使所述阀部打开和关闭。

8.根据权利要求5～7中的任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制部在所述振荡部的动作开始前或者动作停止后使所述阀部打开和关闭。

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

还具备压力测定部，该压力测定部对所述封入部的内部的第一气体的压力进行测定，

所述控制部基于所测定出的压力是否满足规定的基准压力来使所述阀部打开和关闭。

10.根据权利要求9所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制部基于所测定出的压力与所述基准压力之差来设定打开所述第二线路的时间的长度。