[发明专利]激光加工装置

说明书

本发明涉及激光加工装置，提供一种能够容易地恢复干式泵的排气性能的激光加工装置。激光加工装置(1)具备：振荡部(10)，其生成加工用的激光束；封入部(20)，其封入有第一气体；以及排气部(60)，其随着振荡部的动作将第一气体与在封入部中产生的尘垢一起排出，其中，排气部具备：干式泵(61)；第一线路(63)，其用于将封入部与干式泵之间进行连接；第二线路(64)，其用于向干式泵供给压力比第一气体的压力高的第二气体；阀部(70)，其用于将第一线路和第二线路打开和关闭；以及控制部(90)，其用于控制阀部的开闭。

技术领域

本发明涉及一种激光加工装置，具备：振荡部，其生成加工用的激光束；封入部，其封入有气体；以及排气部，其随着振荡部的动作将气体与在封入部中产生的尘垢一起排出。

背景技术

以往，例如已知一种将碳酸气体(CO₂)用作激光介质(介质气体)的激光加工装置。激光加工装置通过在振荡部中激励介质气体来生成激光束。激光束被用于工件的加工，例如对被配置在腔室内的工件进行照射。

介质气体由于振荡部中的激励而劣化。为了稳定地生成激光束，需要将劣化的介质气体更换为新鲜的介质气体。因此，提出一种将供给新鲜的介质气体的供给线路与排出劣化的介质气体的排气线路连接的激光加工装置(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2011-222545号公报

发明内容

发明要解决的问题

根据专利文献1中公开的激光加工装置，用于使介质气体循环的循环路径连接于振荡部。在循环路径中配置送风机。利用送风机使振荡部和循环路径的内部封入的介质气体强制地循环。供给线路和排气线路连接于循环路径。由此，固定量的介质气体一边被更换一边进行循环。因而，能够一边更换由于激励而劣化的介质气体一边持续生成激光束，能够稳定地生成激光束。

另外，在排气线路上例如连接有抽吸介质气体的真空泵。在介质气体中含有尘垢(由于振荡部的动作而产生的粉尘、在送风机中使用的油等)，随着真空泵的长期使用，在真空泵的内部蓄积尘垢。

与采用回转式泵(湿式泵、油旋转泵)作为真空泵的情况相比，采用干式泵(无油泵)作为真空泵的情况在抑制由泵引起的蒸气、油等向介质气体的混入方面是有用的。另一方面，干式泵不需要像回转式泵(湿式泵)那样进行更换润滑油、过滤器之类的定期的维护，因此一般没有排出所蓄积的尘垢的机会。

另外，干式泵与回转式泵相比比较昂贵，期望尽量长时间使用。然而，由于干式泵没有排出所蓄积的尘垢的机会，因此当干式泵的排气性能、可靠性降低时，需要与上述期望无关地更换干式泵自身。因此，为了能够长时间使用干式泵，最好能够容易地恢复干式泵的排气性能。

本发明的目的在于提供一种能够容易地恢复干式泵的排气性能的激光加工装置。

用于解决问题的方案

(1)、本发明是一种激光加工装置(例如，后述的激光加工装置1)，其具备：振荡部(例如，后述的振荡部10)，其生成加工用的激光束(例如，后述的激光束G)；封入部(例如，后述的封入部20)，其封入有第一气体(例如，后述的第一气体M)；以及排气部(例如，后述的排气部60)，其随着所述振荡部的动作将第一气体与在所述封入部中产生的尘垢一起排出，其中，所述排气部具备：干式泵(例如，后述的干式泵61)；第一线路(例如，后述的第一线路63)，其用于将所述封入部与所述干式泵之间进行连接；第二线路(例如，后述的第二线路64)，其用于向所述干式泵供给压力比第一气体的压力高的第二气体(例如，后述的第二气体N)；阀部(例如，后述的阀部70)，其用于将所述第一线路和所述第二线路打开和关闭；以及控制部(例如，后述的控制部90)，其用于控制所述阀部的打开和关闭。