[发明专利]一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺

说明书

本发明公开的属于太阳能电池制造技术领域，具体为一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺，该用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺包括如下步骤：S1：将硅片置于石墨舟中，然后送入板式PECVD中，然后对板式PECVD进行抽真空处理，并通入惰性气体；S2：将板式PECVD内划分为7个不同的温度区域；S3：采用氮气为输送气体，通入硅烷和氨气的混合气体；S4：冷却，然后清理硅片的表面即可，该发明提出的一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺，采用板式PECVD，能够激发出高均匀度的等离子，在沉积过程中不需要硅片和石墨框的作用，均匀性好，大大降低了电池片边缘发白率，增加电池成品率及转换效率，制备工艺简单，成本低廉。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造技术领域，具体为一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺。

背景技术

规化石能源枯竭、以及生态环境的恶化，能源危机已经成为当前国际社会经济发展的主要矛盾。为解决这一大危机，世界各国都在努力探索新能源。在新能源中，特别引人注目的是不断倾注于地球的永久性能源—太阳能。随着最近几年太阳能的发展，竞争也日趋激烈。高效率、低成本成为太阳能企业的生存之本。国外先进企业电池效率已突破20％，国内领头企业也在大量投入研发，奋力直追。利用NH₃和SiH₄在PECVD条件下生长的氮化硅膜是一种富含氢的膜层，有高达25％的氢成分，氢离子在后续的高温烧结工艺中可以获得良好的表面钝化和体钝化效果。而SiO₂膜在生成的时候不会产生大量的氢离子，不具备良好的氢体钝化效果，仅仅存在表面钝化作用。但是现有的PECVD镀膜工艺会造成晶硅片表面出现色差问题，色差问题不仅影响电池片合格率，返工造成大量物料浪费，还会降低电池片效率，为此，我们提出一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺，该用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺包括如下步骤：

S1：将硅片置于石墨舟中，然后送入板式PECVD中，然后对板式PECVD进行抽真空处理，并通入惰性气体；

S2：将板式PECVD内划分为7个不同的温度区域，7个不同的温度区域的温度分别为340-360摄氏度、360-380摄氏度、380-400摄氏度、400-420摄氏度、420-440摄氏度、440-460摄氏度和460-480摄氏度；

S3：采用氮气为输送气体，通入硅烷和氨气的混合气体，硅片在7个不同的温度区域的时间分别为10-12秒、10-12秒、10-12秒、10-12秒、10-12秒、5-8秒和4-6秒；

S4：冷却，然后清理硅片的表面即可。

优选的，所述步骤S1中的板式PECVD的高频电源频率为13.56MHz，低频电源频率为380KHz。

优选的，所述步骤S1中的惰性气体为氮气。

优选的，所述步骤S2中的7个不同的温度区域从板式PECVD的炉口到炉尾依次设置。

优选的，所述步骤S3中，硅烷和氨气的气体总流量为2000-2200sccm，且硅烷和氨气的流量比为1:5。

优选的，所述步骤S3中的板式PECVD内的压力为500-600mTorr，微波源功率为3-3.5KW。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该发明提出的一种用于制备组件晶硅太阳能电池PECVD镀膜工艺，采用板式PECVD，能够激发出高均匀度的等离子，在沉积过程中不需要硅片和石墨框的作用，均匀性好，大大降低了电池片边缘发白率，增加电池成品率及转换效率，制备工艺简单，成本低廉。