[发明专利]提取与互连中断相关的电流电平的方法有效
申请号: | 201810320491.6 | 申请日: | 2018-04-11 |
公开(公告)号: | CN109254240B | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 李昌挥;金成培;李时雨;承万镐 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 李少丹;许伟群 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 提取 互连 中断 相关 电流 电平 方法 | ||
1.一种提取最大电流电平的方法,所述方法包括:
使用最大电流电平测量装置开始对互连结构的电压扫描,当电压扫描开始时,互连结构处于某一温度;
测量互连结构的初始电阻;
使用最大电流电平测量装置来计算互连结构的根据对应输入电压的测量电阻;
使用最大电流电平测量装置来判断互连结构的测量电阻与初始电阻的电阻比是否小于或等于预设值;
当互连结构的电阻比小于或等于预设值时,将与测量电阻相对应的电流值更新为潜在最大电流电平并且重复对互连结构的测量电阻进行计算的步骤;以及
当互连结构的电阻比大于预设值时,将与测量电阻相对应的电流值设置为最大电流电平。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,预设值对应于温度变化ΔT,并且
温度变化ΔT从以下等式来获得:
Rm=R0×(1+TCR×ΔT),
其中,R0为初始电阻,Rm为测量电阻,Rm/R0为电阻比,以及TCR为电阻的温度系数。
3.根据权利要求1所述的方法,还包括:计算互连结构的测量电流;
其中,计算互连结构的测量电流包括:通过最大电流电平测量装置中包括的监控装置来测量对应输入电压以及对应于测量电阻的电流值。
4.根据权利要求1所述的方法,还包括:计算互连结构的测量电流;
其中,计算互连结构的测量电流包括:通过最大电流电平测量装置中包括的监控装置来测量作为输入电压和与测量电阻相对应的电流值的比值的测量电阻。
5.一种从最大电流电平测量装置提取最大电流电平的方法,所述方法包括:
使用最大电流电平测量装置来开始对互连结构的电压扫描,当电压扫描开始时,互连结构处于某一温度;
使用最大电流电平测量装置来测量互连结构的根据输入电压的初级电流;
使用最大电流电平测量装置来测量互连结构的根据下一个输入电压的次级电流;
使用最大电流电平测量装置来判断电流差值是否大于或等于0,电流差值通过从次级电流减去初级电流来获得;
当电流差值大于或等于0时,重复测量初级电流、测量次级电流以及判断电流差值是否大于或等于0的步骤;以及
当电流差值小于0时,使用最大电流电平测量装置来将初级电流设置为最大电流电平。
6.一种从最大电流电平测量装置提取最大电流电平的方法,所述方法包括:
使用最大电流电平测量装置来开始对互连结构的电压扫描,当电压扫描开始时,互连结构处于某一温度;
使用最大电流电平测量装置来测量互连结构的根据输入电压的初级电阻;
使用最大电流电平测量装置来测量互连结构的根据后续输入电压的次级电阻;
使用最大电流电平测量装置来将初级电阻与次级电阻进行比较以产生电阻比较结果;以及
根据电阻比较结果,重复测量初级电阻、测量次级电阻以及将初级电阻与次级电阻进行比较的步骤,或者使用最大电流电平测量装置来设置最大电流电平。
7.根据权利要求6所述的方法,其中,比较步骤包括:判断次级电阻与初级电阻的比值是否大于或等于固定值。
8.根据权利要求6所述的方法,其中,比较步骤包括:判断次级电阻与初级电阻之间的差值是否大于或等于预设值。
9.根据权利要求6所述的方法,其中,根据电阻比较结果,重复测量初级电阻、测量次级电阻以及将初级电阻与次级电阻进行比较的步骤,或者设置最大电流电平包括:当电阻比较结果在预定正常范围的数值之内时,重复测量初级电阻、测量次级电阻以及将初级电阻与次级电阻进行比较的步骤;而当电阻比较结果在预定正常范围的数值之外时,将对应于初级电阻的电流值设置为最大电流电平。
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