[发明专利]泄漏检测方法、以及非暂时性的计算机可读取记录介质

权利要求书

1.一种泄漏检测方法，其特征在于：

在使研磨头的隔膜接触于静止面的状态下，向通过所述隔膜形成的压力室内供给压缩气体，

在向所述压力室内供给所述压缩气体期间，一边用压力调节器调节所述压力室内的所述压缩气体的压力，一边测定所述压缩气体的流量，

测定所述压力室内的所述压缩气体的压力，

决定所述压缩气体的压力变动在允许变动幅度内时所测定的所述压缩气体的流量是否在基准范围内，

当所述流量在所述基准范围之外时生成泄漏检测信号。

2.如权利要求1所述的泄漏检测方法，其特征在于，

决定所述压缩气体的流量是否在基准范围内的工序是如下工序：

决定所述压缩气体的压力变动在所述允许变动幅度内的时刻，

决定在经过所述时刻之前测定且在预定的时间幅度内测定的所述压缩气体的流量是否在基准范围内。

3.如权利要求1所述的泄漏检测方法，其特征在于，

决定所述压缩气体的流量是否在基准范围内的工序是如下工序：

决定所述压缩气体的压力变动在所述允许变动幅度内的时刻，

决定在经过所述时刻之后测定且在预定的时间幅度内测定的所述压缩气体的流量是否在基准范围内。

4.如权利要求1所述的泄漏检测方法，其特征在于，

在校正所述压力调节器期间，决定所述流量的测定值是否在所述基准范围内。

5.一种记录有程序的非暂时性的计算机可读取记录介质，所述程序用于使计算机执行以下步骤：

在使研磨头的隔膜接触于静止面的状态下，取得供给至通过所述隔膜形成的压力室内的压缩气体的流量的测定值的步骤；

对压力调节器发出指令，使所述压力调节器执行调节所述压力室内的所述压缩气体的压力的动作的步骤；

取得所述压力室内的所述压缩气体的压力的测定值的步骤；

决定所述压缩气体的压力变动在允许变动幅度内时所测定的所述压缩气体的流量是否在基准范围内的步骤；及

当所述流量在所述基准范围之外时生成泄漏检测信号的步骤。