[发明专利]驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法

权利要求书

1.一种驱动台装置的控制方法，其特征在于，

通过空气轴承使台上浮，

测定通过所述空气轴承处于上浮的状态的所述台的高度来作为第一高度，

将工件载置于所述台，

在载置有所述工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度，

计算所述第一高度与所述第二高度之差来作为下沉量，

根据所述下沉量来计算所述工件的重量，

根据计算出的所述工件的重量来决定所述台的旋转驱动或者水平移动的上限速度，

以使所述台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。

2.一种驱动台装置的控制方法，其特征在于，

通过空气轴承使台上浮，

测定通过所述空气轴承处于上浮的状态的所述台的高度来作为第一高度，

将工件载置于所述台，

在载置有所述工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度，

计算所述第一高度与所述第二高度之差来作为下沉量，

根据所述下沉量来计算所述工件的重量，

根据计算出的所述工件的重量来决定所述台的旋转驱动或者水平移动的加速度或者减速度的限度，

以使所述台的旋转驱动或者水平移动的加速度或者减速度不超过所述限度的方式进行控制。

3.根据权利要求1或2所述的驱动台装置的控制方法，其特征在于，

将所述计算出的所述工件的重量与该驱动台装置的最大载荷进行对比，

在所述计算出的所述工件的重量超过所述最大载荷的情况下报告给用户。

4.一种形状测定装置的控制方法，该形状测定装置具备转台装置和坐标测定部，该转台装置具有载置工件并进行旋转的转台，该坐标测定部检测所述工件的表面来测定所述工件的形状，所述形状测定装置的控制方法的特征在于，

通过空气轴承使所述转台上浮，

测定通过所述空气轴承处于上浮的状态的所述转台的高度来作为第一高度，

将所述工件载置于所述转台，

在载置有所述工件的状态下测定所述转台的高度来作为第二高度，

计算所述第一高度与所述第二高度之差来作为下沉量，

根据所述下沉量来计算所述工件的重量，

根据计算出的所述工件的重量来决定所述转台的转速的上限，

一边以使所述转台的转速不超过所述上限的方式进行控制，一边通过所述坐标测定部来测定被载置于所述转台的所述工件的形状。

5.根据权利要求4所述的形状测定装置的控制方法，其特征在于，

根据所述工件的直径和重量来计算所述工件的惯性力矩，

根据所述工件的所述惯性力矩来决定所述转台的转速的所述上限。

6.一种形状测定装置的控制方法，该形状测定装置具备转台装置和坐标测定部，该转台装置具有载置工件并进行旋转的转台，该坐标测定部检测所述工件的表面来测定所述工件的形状，所述形状测定装置的控制方法的特征在于，

通过空气轴承使所述转台上浮，

测定通过所述空气轴承处于上浮的状态的所述转台的高度来作为第一高度，

将所述工件载置于所述转台，

在载置有所述工件的状态下测定所述转台的高度来作为第二高度，

计算所述第一高度与所述第二高度之差来作为下沉量，

根据所述下沉量来计算所述工件的重量，

根据计算出的所述工件的重量来决定所述转台的旋转的加速度或者减速度的限度，

一边以使所述转台的旋转的加速度或者减速度不超过所述限度的方式进行控制，一边通过所述坐标测定部来测定被载置于所述转台的所述工件的形状。

7.根据权利要求6所述的形状测定装置的控制方法，其特征在于，

根据所述工件的直径和重量来计算所述工件的惯性力矩，

根据所述工件的所述惯性力矩来决定所述转台的旋转的加速度或者减速度的所述限度。

8.根据权利要求4～7中的任一项所述的形状测定装置的控制方法，其特征在于，

在测定所述第二高度之后执行该转台装置的定心。