[发明专利]驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法

说明书

提供一种驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法，能够根据载置于台上的对象物的重量等来实现恰当的驱动控制。通过空气轴承使台上浮，测定通过空气轴承处于上浮的状态的台的高度来作为第一高度。将工件载置于台，在载置有工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度。计算第一高度与第二高度之差来作为下沉量，根据下沉量来计算工件的重量。根据计算出的所述工件重量来决定台的旋转驱动或者水平移动的上限速度。以使台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。

技术领域

本发明涉及一种驱动台装置的驱动控制方法，例如涉及一种转台的驱动控制方法。

背景技术

作为形状测定装置，已知有正圆度测定装置(专利文献1)。正圆度测定装置具有旋转机构，具有精密地测定圆形形体的测定对象物(以下称为“工件”)的半径变化的功能。正圆度测定装置的测定精度与转台的旋转精度密切关联。

专利文献1：日本专利3949910号

发明内容

发明要解决的问题

当转台的旋转发生抖动时，形状测定的结果当然相应地恶化。因而，转台中设定有能够保证旋转精度的最大的载荷。

当在超过载荷的工件载置于转台上的状态下驱动转台时，旋转精度当然不会得到保证，也成为导致损伤转台的内部机构的原因。

然而，经常发生由正圆度测定机来测定超过载荷的工件的误操作。

另外，在转台的旋转控制中经常应用设想了最大负荷的工件的控制。也就是说，进行如下控制：以即使工件的重量为最大载荷的情况下也保证旋转精度的方式使转台缓慢地加速，最大转速也被设定得足够低，并且缓慢地减速而停止。即使工件轻也应用相同的控制。因此，在工件轻的情况下花费长到所需以上的测定时间，但是这是为了防止转台的损伤而不得不为之的处置。

以转台为例进行了说明，但是上述的问题不限于旋转，是在载置有对象物的状态下进行移动的移动台(motion stage)中也共有的问题。

此外，将以旋转轴为旋转中心使转台旋转的转台装置和在一维或二维方向上使移动台移动的移动台装置统称为驱动台装置。

本发明的目的在于提供一种能够根据载置于台上的对象物的重量等来实现恰当的驱动控制的驱动台装置的控制方法。

用于解决问题的方案

本发明的驱动台装置的控制方法包括以下步骤：通过空气轴承使台上浮，测定通过所述空气轴承处于上浮的状态的所述台的高度来作为第一高度，将工件载置于所述台，在载置有所述工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度，计算所述第一高度与所述第二高度之差来作为下沉量，根据所述下沉量来计算所述工件的重量，根据计算出的所述工件的重量来决定所述台的旋转驱动或者水平移动的上限速度，以使所述台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。

另外，本发明的驱动台装置的控制方法包括以下步骤：通过空气轴承使台上浮，测定通过所述空气轴承处于上浮的状态的所述台的高度来作为第一高度，将工件载置于所述台，在载置有所述工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度，计算所述第一高度与所述第二高度之差来作为下沉量，根据所述下沉量来计算所述工件的重量，根据计算出的所述工件的重量来决定所述台的旋转驱动或者水平移动的加速度或者减速度的限度，以使所述台的旋转驱动或者水平移动的加速度或者减速度不超过所述限度的方式进行控制。

在本发明的一个实施方式中，优选的是，将所述计算出的所述工件的重量与该驱动台装置的最大载荷进行对比，在所述计算出的所述工件的重量超过所述最大载荷的情况下报告给用户。