[发明专利]片盒监控方法、片盒监控装置及半导体加工系统

权利要求书

1.一种片盒监控方法，用于防止工件重复工艺，其特征在于，包括：

获取指定槽位中是否存放有工件；

若所述指定槽位中存放有工件，则获取并存储该指定槽位的工件状态，所述工件状态至少包括已处理状态和待处理状态；

当接收到与所述指定槽位中的工件对应的执行任务请求时，读取该指定槽位的工件状态，若所述工件状态为已处理状态，则停止执行任务，若所述工件状态为待处理状态，则执行任务；

所述片盒监控方法还包括：

判断片盒是否更换，若是，则获取新片盒的槽位个数，并判断所述新片盒的槽位个数与原片盒的槽位个数是否一致；

若不一致，则将槽位个数更新为所述新片盒的槽位个数，并进行存储。

2.根据权利要求1所述的片盒监控方法，其特征在于，当所述片盒更换时，获取新片盒的槽位个数，并判断所述新片盒的槽位个数与原片盒的槽位个数是否一致的步骤；进一步包括：

接收用户输入的新片盒的槽位个数；

判断所述新片盒的槽位个数与原片盒的槽位个数是否一致。

3.根据权利要求1或2所述的片盒监控方法，其特征在于，还包括：

显示片盒图示，所述片盒图示包括槽位个数、槽位中是否存放有工件以及工件状态。

4.根据权利要求3所述的片盒监控方法，其特征在于，

所述槽位个数的显示方式为：沿竖直方向间隔排列的多对线段，每对线段沿水平方向相对设置，以表示一个槽位，所述多对线段的对数与所述槽位个数相对应；

所述槽位中是否放有工件的显示方式为：若任意一对所述线段之间具有连线，则表示所述槽位中存放有工件；若任意一对所述线段之间没有连线，则表示所述槽位中未存放有工件；

所述工件状态的显示方式为：不同颜色的连线表示不同的所述工件状态。

5.根据权利要求4所述的片盒监控方法，其特征在于，所述片盒图示还包括：数字标记，每间隔相同数量的槽位，在相应的所述线段的一侧设置一个所述数字标记。

6.一种片盒监控装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取指定槽位中是否存放有工件；若所述指定槽位中存放有工件，则获取该指定槽位的工件状态，所述工件状态至少包括已处理状态和待处理状态；

存储模块，用于存储所述指定槽位的工件状态；

读取模块，用于当接收到与所述指定槽位中的工件对应的执行任务请求时，读取该指定槽位的工件状态，若所述工件状态为已处理状态，则停止执行任务，若所述工件状态为待处理状态，则执行任务；

当片盒更换时，所述获取模块还用于获取新片盒的槽位个数；

所述片盒监控装置还包括判断模块，用于判断所述新片盒的槽位个数与原片盒的槽位个数是否一致；若不一致，则将槽位个数更新为所述新片盒的槽位个数，并进行存储。

7.根据权利要求6所述的片盒监控装置，其特征在于，所述片盒监控装置还包括输入模块，用于接收用户输入的新片盒的槽位个数，并发送至所述获取模块。

8.根据权利要求6或7所述的片盒监控装置，其特征在于，所述片盒监控装置还包括显示模块，用于显示片盒图示，所述片盒图示包括槽位个数、槽位中是否存放有工件以及工件状态。

9.一种半导体加工系统，包括片盒、片盒监控装置和执行机构，所述片盒监控装置用于监控片盒中的各个槽位是否存放有工件，以及工件状态；所述执行机构用于根据所述片盒监控装置监控的工件状态执行任务，其特征在于，所述片盒监控装置为权利要求6-8中任一所述的片盒监控装置。

10.根据权利要求9所述的半导体加工系统，其特征在于，还包括验证模块，用于在所述执行机构执行任务之前，验证所述任务是否为首次下达，若否，则拒绝该任务，若是，则所述获取模块获取该任务的指定槽位的位置，且所述读取模块读取该指定槽位的工件状态，若所述工件状态为已处理状态，则停止执行任务，若所述工件状态为待处理状态，则执行任务。