[发明专利]片盒监控方法、片盒监控装置及半导体加工系统

说明书

本发明提供的片盒监控方法，用于防止工件重复工艺，当指定槽位中存放有工件时，先获取并存储片盒的该指定槽位的工件状态，当接收到指定槽位中的工件对应的执行任务请求时，读取该槽位的工件状态，若工件状态为已处理状态，则停止执行任务，若所述工件状态为待处理，则执行任务。由此，可以根据不同的工件状态自动执行任务或者停止执行任务，从而可以避免受到人为因素的影响，进而避免将已处理状态的工件再次传入工艺腔室进行重复工艺，可以有效降低坏片率，进而提高工件生产效率。

技术领域

本发明属于微电子技术领域，具体涉及一种片盒监控方法、片盒监控装置及半导体加工系统。

背景技术

片盒(Cassette)是半导体加工设备中用于存放晶片的装置，片盒包括多个槽位，每个槽位中存放一个晶片。片盒还配置有片盒监控装置，用于获取并显示片盒的每一槽位中是否存放有晶片，以及当槽位中存放有晶片时，该晶片的状态，晶片状态通常包括已加工状态或者待加工状态。

在实际应用中，根据片盒监控装置显示的晶片存放情况和晶片状态，人工判断是否对相应的晶片进行工艺。但是，由于人为因素的不可控，仍有可能出现将已加工的晶片再次传入工艺腔室进行重复工艺的情况，这不但会导致工艺原材料的浪费，更会导致该晶片由于反复工艺而无法继续使用。因此，本领域亟需一种能够有效防止晶片重复工艺的方法。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种片盒监控方法、片盒监控装置及半导体加工系统。

本发明提供了一种片盒监控方法，用于防止工件重复工艺，其包括：

获取指定槽位中是否存放有工件；

若指定槽位中存放有工件，则获取并存储该指定槽位的工件状态，工件状态至少包括已处理状态和待处理状态；

当接收到与指定槽位中的工件对应的执行任务请求时，读取该指定槽位的工件状态，若工件状态为已处理状态，则停止执行任务，若工件状态为待处理状态，则执行任务。

其中，还包括：

判断片盒是否更换，若是，则获取新片盒的槽位个数，并判断新片盒的槽位个数与原片盒的槽位个数是否一致；

若不一致，则将槽位个数更新为新片盒的槽位个数，并进行存储。

其中，当片盒更换时，获取新片盒的槽位个数，并判断新片盒的槽位个数与原片盒的槽位个数是否一致的步骤；进一步包括：

接收用户输入的新片盒的槽位个数；

判断新片盒的槽位个数与原片盒的槽位个数是否一致。

其中，其特征在于，还包括：

显示片盒图示，片盒图示包括槽位个数、槽位中是否存放有工件以及工件状态。

其中，槽位个数的显示方式为：沿竖直方向间隔排列的多对线段，每对线段沿水平方向相对设置，以表示一个槽位，多对线段的对数与槽位个数相对应；

槽位中是否放有工件的显示方式为：若任意一对线段之间具有连线，则表示槽位中存放有工件；若任意一对线段之间没有连线，则表示槽位中未存放有工件；

工件状态的显示方式为：不同颜色的连线表示不同的工件状态。

其中，片盒图示还包括：数字标记，每间隔相同数量的槽位，在相应的线段的一侧设置一个数字标记。

作为另一个实施例，本发明还提供了一种片盒监控装置，其中，包括：

获取模块，用于获取指定槽位中是否存放有工件；若指定槽位中存放有工件，则获取该指定槽位的工件状态，工件状态至少包括已处理状态和待处理状态；

存储模块，用于存储指定槽位的工件状态；