[发明专利]一种吸附装置及吸附系统

说明书

本申请公开了一种吸附装置及吸附系统，所述吸附装置包括：机械臂；吸嘴，位于所述机械臂一侧；弹性连接体，其一端与所述机械臂连接，其另一端与所述吸嘴连接；驱动组件，位于所述机械臂、所述吸嘴或所述弹性连接体上，用于驱动所述弹性连接体使其产生形变，以变化所述吸嘴和所述机械臂之间的距离。通过上述方式，本申请所提供的实时方式能够变化吸嘴和机械臂之间的距离。

技术领域

本申请涉及工业设备技术领域，特别是涉及一种吸附装置及吸附系统。

背景技术

随着现代化集成电路技术的迅速发展，圆片的结构越来越复杂，圆片经过多次工艺处理后，其内部应力增加，进而产生翘曲变形。随着半导体集成度的提高，圆片的翘曲度越来越高，翘曲模式也愈加复杂。常见的圆片翘曲模式包括凹型翘曲(如附图1a所示)、凸型翘曲(如附图1b所示)、曲线型翘曲(如附图1c所示)等。

本申请的发明人在长期研发过程中发现，目前常用的用于吸附圆片的设备为机械臂，机械臂一般只能吸附正常无翘曲或者有轻微翘曲的圆片，对于翘曲度≥1mm或者翘曲模式复杂的圆片，现有的机械臂还不能吸附。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种吸附装置及吸附系统，能够变化吸嘴和机械臂之间的距离。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种吸附装置，所述吸附装置包括：机械臂；吸嘴，位于所述机械臂一侧；弹性连接体，其一端与所述机械臂连接，其另一端与所述吸嘴连接；驱动组件，位于所述机械臂、所述吸嘴或所述弹性连接体上，用于驱动所述弹性连接体使其产生形变，以变化所述吸嘴和所述机械臂之间的距离。

其中，所述弹性连接体是气/液囊，所述驱动组件是充放气/液组件，所述充放气/液组件连通所述气/液囊，用于对所述气/液囊进行充气/液或放气/液，使得所述气/液囊膨胀或收缩，以变化所述吸嘴和所述机械臂之间的距离。

其中，所述吸嘴面向所述机械臂一侧包括贯穿的第一孔洞，所述吸附装置包括：真空产生器、第一真空管道和第二真空管道，所述第一真空管道位于所述机械臂中且与所述真空产生器连接，所述第二真空管道位于所述气/液囊中，且所述第二真空管道轴向可伸缩或径向可弯曲，其一端与所述第一真空管道连通，其另一端与所述吸嘴的所述第一孔洞连通，以使得所述吸嘴通过真空吸附作用实现对目标的吸附和释放。

其中，所述第二真空管道是弹性管道，或弯曲收纳于所述气/液囊的可绕性管道。

其中，所述气/液囊一端开设有第二孔洞，另一端开设有第三孔洞；所述第二真空管道的一端外壁与所述气/液囊密封且从所述第二孔洞露出，进而与所述吸嘴的所述第一孔洞连通；所述第二真空管道的另一端外壁从所述第三孔洞露出，进而与所述第一真空管道连接。

其中，所述机械臂设有容置腔，所述充放气/液组件位于所述容置腔内，所述容置腔设有开口，所述气/液囊的第三孔洞对接所述开口；所述第二真空管道一部分位于所述容置腔之内，并通过所述开口连通所述气/液囊内的其余第二真空管道。

其中，所述气/液囊与所述吸嘴柔性连接，使得所述吸嘴与所述机械臂形成的夹角可调节；和/或，所述气/液囊与所述机械臂柔性连接，使得所述气/液囊与所述机械臂形成的夹角可调节。

其中，所述吸附装置还包括控制电路和真空传感器，所述真空传感器位于所述第一真空管道或所述第二真空管道中，用于探测所述第一真空管道或所述第二真空管道中的压力，进而判断所述吸嘴是否吸附目标；所述控制电路分别连接所述充放气/液组件、所述真空产生器以及所述真空传感器，当所述真空传感器未探测到目标被吸附时，所述控制电路控制所述充放气/液组件以对所述气/液囊充气/液，使得所述吸嘴向目标靠近并吸附到目标时，所述真空传感器探测到目标被吸附，所述控制电路指令控制所述充放气/液组件停止对所述气/液囊充气/液并保持住吸附状态。