[发明专利]一种微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件的制作方法

权利要求书

1.一种微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件的制作方法，其特征在于：所述微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件包括用于进行X射线光束第一次整形和滤波的X射线光阑、用于进行X射线光束第二次整形为类平行光的X射线折光器、用于对入射的多个X射线子光束分别进行聚焦的X射线阵列组合透镜和组件承载台，所述组件承载台用于承载所述X射线光阑、X射线折光器和X射线阵列组合折射透镜，所述X射线光阑、X射线折光器和X射线阵列组合折射透镜依次位于同一光轴上，所述X射线阵列组合折射透镜的阵列结构布局，保证每一个子光束所形成的聚焦焦斑在同一位置并位于光轴上；

所述制作方法包括以下步骤：

(一)X射线阵列组合折射透镜的制作

所述X射线阵列组合折射透镜中包含(M+1)个X射线组合折射透镜，所述M为正整数且为偶数，所述X射线阵列组合折射透镜沿其光轴呈轴对称分布，所述X射线阵列组合折射透镜的光轴与阵列中零级X射线组合折射透镜的光轴重合，所述X射线阵列组合折射透镜的光轴与阵列中的正负一级X射线组合折射透镜的光轴夹角为θ，所述X射线阵列组合折射透镜的光轴与阵列中的正负二级X射线组合折射透镜的光轴夹角为2θ，依此类推；所述X射线阵列组合折射透镜中(M+1)个组合折射透镜的布局结构，使得所有(M+1)个X射线组合折射透镜聚焦的焦斑在相同位置，且位于光轴上；

(二)X射线折光器的制作

所述X射线折光器与所述X射线阵列组合折射透镜贴近放置，实现入射X射线光束的第二次整形，所述第二次整形，是指X射线折光器可对阵列中各级X射线组合折射透镜进行不同角度的光线偏折，最终实现对X射线阵列组合折射透镜中每一个单一组合折射透镜的类平行光入射；

(三)X射线光阑的制作

所述X射线光阑的结构尺寸，根据所述X射线阵列组合折射透镜的结构尺寸确定，实现入射X射线光束的第一次整形和滤波，包括阻隔杂散光的外框，以及透光带和阻光带交替布置的滤波结构，通过滤波结构将X射线光波分裂成多个子光束；

(四)微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件的装调

将X射线光阑、X射线折光器、X射线阵列组合折射透镜置于组件承载台上。

2.如权利要求1所述的一种微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件的制作方法，其特征在于：所述步骤(一)中，所述(M+1)个X射线组合折射透镜的结构和性能参数，依据下列公式得出：

X射线波段的光学常数：n＝1-δ+iβ (1)

X射线组合折射透镜的焦距：

X射线组合折射透镜的焦斑尺寸：

X射线组合折射透镜的数值口径：

其中n代表光学常数，δ代表X射线波段材料的折射，β代表X射线波段材料的吸收，N代表X射线组合折射透镜中折射单元的个数，以抛物面型折射单元为例，组合折射透镜抛物面顶点的曲率半径为R，抛物面的开口尺寸为R₀，f代表X射线组合折射透镜的焦距，λ代表波长，μ代表X射线的线吸收系数，