[发明专利]匣固定装置和具有该装置的运载工具

说明书

匣固定装置包括支撑构件和驱动部，支撑元件设置在沿顶板的行进轨道行进的运载工具内部，分别支撑由运载工具所保持的匣的侧表面的前端和后端以防止匣振动，并配置成避免匣旋转时的干扰；驱动部用于使支撑构件沿垂直于匣前后方向的水平方向在支撑位置和缩回位置之间往复运动，其中在支撑位置处支撑构件支撑匣的侧表面，在缩回位置处支撑构件从支撑位置缩回以使匣接收在运载工具中。

背景技术

本发明涉及一种匣固定装置及具有该装置的运载工具。更具体地，本发明涉及用于防止由运载工具所保持的匣振动和掉落的匣固定装置及具有该匣固定装置的运载工具。

通常，用于制造半导体器件的半导体处理设备可连续布置以在半导体衬底上执行各种处理。半导体器件制造工艺的对象(诸如晶圆)可以容纳于匣中的状态提供给各半导体处理设备，或可从各半导体处理设备上卸下。

匣可由OHT(Overhead Hoist Transport，高架提升传输)传输。OHT包括沿半导体生产线的顶板(ceiling)设置的行进轨道和保持匣并沿行进轨道行进的运载工具，半导体处理设备连续布置在半导体生产线中。

当运载工具行进时，匣中可能发生振动，振动可能导致匣从运载工具中掉落。因此，运载工具包括用于防止匣振动和掉落的匣固定装置。

匣固定装置具有用于支撑匣的侧表面的中央部分的支撑构件。支撑构件可在用于支撑匣的支撑位置和缩回位置之间往复运动。

然而，当匣的尺寸增加时，即使支撑构件处于缩回位置，匣和支撑构件也可能在匣旋转时相互干扰。因此，匣的旋转可能是令人讨厌的。

由于运载工具的空间限制，改变匣固定装置的缩回位置以防止匣与支撑构件之间的干扰也是困难的。

发明内容

本发明提供一种匣固定装置，即使匣的尺寸改变，匣固定装置也能够在匣旋转期间防止匣和支撑构件之间的干扰。

本发明还提供了一种具有所述匣固定装置的运载工具。

根据本发明的一方面，匣固定装置可包括支撑构件和驱动部，该支撑构件设置在沿顶板的行进轨道行进的运载工具内部，分别支撑由运载工具所保持的匣的侧表面的前端和后端以防止匣振动，并配置成避免匣旋转时的干扰；驱动部用于使支撑构件沿垂直于匣的前后方向的水平方向在支撑位置和缩回位置之间往复运动，其中在支撑位置处支撑构件支撑匣的侧表面，在缩回位置处支撑元件从支撑位置缩回以使匣接收在运载工具中。

根据本发明的一些示例性实施例，匣固定装置还可包括防掉落构件，其固定至支撑构件的下表面并设置在匣的下方以在匣掉落时支撑匣的下表面。

根据本发明的一些示例性实施例，匣固定装置还可包括基板和可动板，基板固定到运载工具内部并且驱动部安装到基板上，可动板堆叠并安装到基板上，以使其可沿水平方向相对于基板移动，且支撑构件安装到可动板上，其中驱动部使可动板沿水平方向移动以使支撑构件往复运动。

根据本发明的一些示例性实施例，匣固定装置还可包括固定销和螺旋弹簧，固定销通过可动板固定至支撑构件，并连接可动板和支撑构件，螺旋弹簧布置在可动板和支撑构件之间以围绕固定销，以减少支撑构件与匣形成接触时产生的撞击。

根据本发明的一些示例性实施例，匣固定装置还可包括多个传感器，其设置在基板上用于感测可动板的位置以检测支撑构件的位置。

根据本发明的一些示例性实施例，支撑构件可由具有低摩擦系数的材料制成，以防止由于支撑构件和匣之间的摩擦而产生颗粒。