[发明专利]掩模板组件及其制备方法

说明书

本公开的实施例提供了一种掩模板组件及其制备方法。该掩模板组件包括：第一掩模板，所述第一掩模板包括与至少一个显示面板的有效显示区内的像素图案对应的图形；第二掩模板，所述第二掩模板包括与所述至少一个显示面板的有效显示区的外围图案对应的图形，其中所述第二掩模板设置在所述第一掩模板上。

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀用的掩模板组件及其制备方法。

背景技术

有机电致发光器件(OLED)为一种自发光的显示器件。为了提高色域、对比度及亮度效率，往往采用独立的红绿蓝(RGB)发光层实现OLED彩色显示。独立的RGB发光层采用蒸镀工艺来实施，并且在蒸镀过程中需要使用精密金属掩模板(Fine metal mask，FMM)。

随着异形显示器件在市场上不断推出，期望能够使用精密金属掩模板来制造异形显示器件。然而，当需要在异形显示器件的显示面板的边缘上制造出倒圆角或不规则形状时，难以通过精密金属掩模板直接制造出所希望的异形显示器件。

发明内容

鉴于上述，本公开的目的是提供至少部分地克服或减轻上述的技术不足的掩模板组件及其制备方法。

根据本公开的一个方面，提供了一种掩模板组件，包括：第一掩模板，所述第一掩模板包括与至少一个显示面板的有效显示区内的像素图案对应的图形；第二掩模板，所述第二掩模板包括与所述至少一个显示面板的有效显示区的外围图案对应的图形，其中所述第二掩模板设置在所述第一掩模板上。

在一个实施例中，所述第二掩模板的材料的热膨胀系数为第一掩模板的材料的热膨胀系数的0.9至1.1倍。

在一个实施例中，所述显示面板的外围图案为规则图案或带有倒圆角的图案。在一些其它实施例中，所述显示面板的外围图案还可以是其他异形图案。

在一个实施例中，所述第二掩模板是用于形成至少一个显示面板的有效显示区的外围图案对应的图形的掩模并且由聚酰亚胺材料制成。

在一个实施例中，所述第一掩模板是精密金属掩模板并且由因瓦合金材料制成。

在一个实施例中，所述第二掩模板为单独的掩模或通过涂覆方式和光刻工艺形成在第一掩模板上的第二掩模板。

在一个实施例中，所述第二掩模板的厚度在5微米至10微米的范围内。

在一个实施例中，所述第二掩模板的图形位于所述第一掩模板的像素掩模区域中。

根据本公开的另一方面，提供了一种制造掩模板组件的方法，包括：提供所述用于蒸镀的第一掩模板，其中所述第一掩模板包括与至少一个显示面板的有效显示区内的像素图案对应的图形；将第二掩模板设置在所述第一掩模板的像素掩模区域之上，其中所述第二掩模板包括与所述至少一个显示面板的有效显示区的外围图案对应的图形。

在一个实施例中，所述第二掩模板的材料的热膨胀系数为第一掩模板的材料的热膨胀系数的0.9至1.1倍。

在一个实施例中，在所述第二掩模板由聚酰亚胺制成时，所述将第二掩模板设置在所述第一掩模板的像素掩模区域中的步骤包括：将聚酰亚胺涂覆到所述第一掩模板的像素掩模区域之上以形成聚酰亚胺层；对所述聚酰亚胺层进行光刻工艺以形成所述第二掩模板。

在一个实施例中，所述显示面板的外围图案为规则图案或带有倒圆角的图案。在一些其它实施例中，所述显示面板的外围图案还可以是其他异形图案。

在一个实施例中，所述第一掩模板是精密金属掩模板并且由因瓦合金材料制成。

在一个实施例中，所述第二掩模板的厚度在5微米至10微米的范围内。