[发明专利]一种孔位检具

说明书

本发明涉及一种孔位检具，属于检测技术领域。该孔位检具，包括：检测环，检测环上间隔设置有与标准SRH420靶材的螺纹孔相对应的多个检测孔，检测环的内径大于标准SRH420靶材的铝柱体的直径；以及，多个与检测孔相对应的固定件，固定件的数量大于等于检测孔的数量，在使用孔位检具对待检测SRH420靶材进行检测时，在每个检测孔与对应的螺纹孔均能通过固定件进行固定时，表明待检测SRH420靶材合格。通过该孔位检具来对待检测SRH420靶材进行检测，在每个检测孔与对应的螺纹孔均能通过固定件进行固定时，表明待检测SRH420靶材合格，反之则不合格，极大地提高了检测效率，缩短了检测时间。

技术领域

本发明属于检测技术领域，具体涉及一种孔位检具。

背景技术

随着制造业和科技水平的高速发展，越来越多的电子设备进入了人们的生活，而这些电子设备中通常都包含有电子芯片，以实现该电子设备想要实现的功能，即电子设备的功能是依靠芯片来实现的。在生产芯片时，会涉及到生产芯片的靶材，如SRH420靶材，该SRH420靶材是一种半导体用超高纯金属溅射靶材，用于芯片制造。在生产芯片时，将该SRH420靶材安装至芯片生产设备的溅射机台上，以便进行后续操作。因此，设置于该SRH420靶材上的孔位尺寸就显得至关重要，产品的螺纹孔角度正确与否关系产品的安装问题，若螺纹孔角度不正确，就无法将其安装至溅射机台上，因此，需要对靶材的孔位尺寸进行检测。

目前，在对靶材的孔位尺寸的合理性进行检测时，是采用三坐标测量机进行检测，以检测各个孔位的角度是否符合规定。本申请的申请人在研究本申请的过程中发现，这种方式虽然检测精度高，但是存在检测速度慢、效率低下的问题。

发明内容

鉴于此，本发明的目的在于提供一种孔位检具，以有效地改善上述问题。

本发明的实施例是这样实现的：

本发明实施例提供了一种孔位检具，检测环，所述检测环上间隔设置有与标准SRH420靶材的螺纹孔相对应的多个检测孔，所述检测环的内径大于所述标准SRH420靶材的铝柱体的直径；以及，多个与所述检测孔相对应的固定件，所述固定件的数量大于等于所述检测孔的数量，在使用所述孔位检具对待检测SRH420靶材进行检测时，在每个检测孔与对应的螺纹孔均能通过所述固定件进行固定时，表明所述待检测SRH420靶材合格。

在本发明可选的实施例中，所述检测环包括：内环和外环，多个所述检测孔设置于所述内环上，所述外环的高度大于所述内环的高度，所述外环的内径大于所述标准SRH420靶材的直径。

在本发明可选的实施例中，所述外环的反面与所述内环的反面齐平，所述外环的正面高于所述内环的正面。

在本发明可选的实施例中，所述外环的反面高于所述内环的反面，所述外环的正面高于所述内环的正面。

在本发明可选的实施例中，所述外环的反面距离所述内环的反面的部分与所述外环的正面距离所述内环的正面的部分高度相等。

在本发明可选的实施例中，所述外环的内圆的直径选自379.9mm至380.1mm之间的任一数值。

在本发明可选的实施例中，所述外环的外圆的直径选自420.38mm至420.58mm之间的任一数值。

在本发明可选的实施例中，所述内环的外圆的直径选自379.9mm至380.1mm之间的任一数值，所述内环的内圆的直径选自329.9mm至330.1mm之间的任一数值。

在本发明可选的实施例中，每个所述检测孔的中心位于直径选自349.99mm至350.01mm之间任一数值的圆弧上。

在本发明可选的实施例中，所述检测孔的数量为8个，相邻两个检测孔之间的角度选自44.95至45.05度之间的任一数值。