[发明专利]机械手用限位结构、机械手、传输腔室和半导体处理设备

权利要求书

1.一种机械手用限位结构，所述机械手包括机械手指和直线模组，所述直线模组用于驱动所述机械手指作直线往复运动；其特征在于，所述机械手用限位结构包括：

限位件，设置在所述机械手指或所述直线模组中的一者上，所述限位件上设有缓冲部和限位部；

接触组件，与所述限位件相对设置在所述直线模组或所述机械手指中的另一者上；并且，

在所述机械手指沿所述直线模组作往复直线运动的过程中，所述接触组件与所述限位件之间产生相对运动时，所述接触组件能够在所述缓冲部上平缓移动后经所述限位部限位。

2.根据权利要求1所述的机械手用限位结构，其特征在于，所述接触组件包括：

固定件；

接触探头，所述接触探头设置在所述固定件的一端，且所述接触探头能够在所述缓冲部上平缓移动后经所述限位部限位。

3.根据权利要求2所述的机械手用限位结构，其特征在于，所述固定件设置有沿其轴向贯穿的安装孔，所述安装孔的一端设置有所述接触探头；

所述接触组件还包括：

调节件，所述调节件的一端伸入所述安装孔内；

弹性件，位于所述安装孔内，且所述弹性件的一端与所述调节件的伸入所述安装孔内的一端连接，所述弹性件的另一端与所述接触探头连接。

4.根据权利要求3所述的机械手用限位结构，其特征在于，所述安装孔包括螺纹孔，所述调节件包括调节螺钉，所述调节螺钉和所述螺纹孔相适配。

5.根据权利要求4所述的机械手用限位结构，其特征在于，

所述缓冲部包括自所述限位件的一表面向下倾斜凹陷形成的第一倾斜面；

所述限位部包括自所述表面向下倾斜凹陷形成的第二倾斜面，所述第二倾斜面的最低边缘线与所述第一倾斜面的最低边缘线重合；

所述第一倾斜面的坡度小于所述第二倾斜面的坡度。

6.根据权利要求5所述的机械手用限位结构，其特征在于，所述接触探头呈球形结构，所述球形结构在所述第一倾斜面上移动时能与所述第一倾斜面相切。

7.一种机械手，其特征在于，还包括至少一个权利要求1至6中任意一项所述的限位结构。

8.根据权利要求7所述的机械手，其特征在于，还包括：

手指固定件，所述机械手指通过所述手指固定件与所述直线模组连接；

至少一个保护件，设置在所述直线模组的端部；

所述限位件设置在所述手指固定件的朝向所述保护件的一侧，所述接触组件设置在所述保护件的朝向所述手指固定件的一侧。

9.一种传输腔室，所述传输腔室内设置有机械手，其特征在于，所述机械手包括权利要求7或8任意一项所述的机械手。

10.一种半导体处理设备，其特征在于，包括权利要求9所述的传输腔室。