[发明专利]机械手用限位结构、机械手、传输腔室和半导体处理设备

说明书

本发明公开了一种限位结构、机械手、传输腔室和半导体处理设备。包括限位件和与限位件相对设置的接触组件，限位件上设置有缓冲部和限位部，接触组件与限位件之间产生相对运动时，接触组件能够在缓冲部上平缓移动后经限位部限位。本发明的限位结构，利用所设置的限位件和接触组件之间的运动配合关系，可以使得机械手指在直线模组上经过缓冲部的平缓移动后在被限位部所限位，以此实现机械手指与直线模组的位置固定，从而可以使得被加工工件在机械手上的相对位置能够保持不变，能够实现机械手的连贯传动，进而能够提高该被加工工件的加工良率，降低制作成本。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种机械手用限位结构、一种包括该限位结构的机械手、一种包括该机械手的传输腔室以及一种包括该传输腔室的半导体处理设备。

背景技术

在集成电路、半导体照明、微机电系统等领域的晶圆刻蚀工艺中，为了能够提高设备自动化程度和安全性，通常采用机械手自动完成晶片等被加工工件的传输。

相关技术中，机械手通过直线模组驱动作往复直线运动，在直线模组的极限位置处利用磁性件吸附的方式，来实现机械手指与直线模组的相对固定。

但是，由于磁性件的磁力的大小受环境影响因素较大(例如，距离因素等)，在实际装配过程中，很难保证机械手指在直线模组的阻力相同，造成二者相互吸附的间距不同，间距过大，吸附的瞬间就会在前后方向上造成很大的冲击力，该冲击力的存在会使晶片在机械手的相对位置发生变化，进而传入腔室中无法保证晶片与静电卡盘的相对位置。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种机械手用限位结构、一种包括该限位结构的机械手、一种包括该机械手的传输腔室以及一种包括该传输腔室的半导体处理设备。

为了实现上述目的，本发明的第一方面，提供一种机械手用限位结构，包括：

限位件，其上设有缓冲部和限位部；

接触组件，与所述限位件相对设置；并且，

所述接触组件与所述限位件之间产生相对运动时，所述接触组件能够在所述缓冲部上平缓移动后经所述限位部限位。

可选地，所述接触组件包括：

固定件；

接触探头，所述接触探头设置在所述固定件的一端，且所述接触探头能够在所述缓冲部上平缓移动后经所述限位部限位。

可选地，所述固定件设置有沿其轴向贯穿的安装孔，所述安装孔的一端设置有所述接触探头；

所述接触组件还包括：

调节件，所述调节件的一端伸入所述安装孔内；

弹性件，位于所述安装孔内，且所述弹性件的一端与所述调节件的伸入所述安装孔内的一端连接，所述弹性件的另一端与所述接触探头连接。

可选地，所述安装孔包括螺纹孔，所述调节件包括调节螺钉，所述调节螺钉和所述螺纹孔相适配。

可选地，所述缓冲部包括自所述限位件的一表面向下倾斜凹陷形成的第一倾斜面；

所述限位部包括自所述表面向下倾斜凹陷形成的第二倾斜面，所述第二倾斜面的最低边缘线与所述第一倾斜面的最低边缘线重合；

所述第一倾斜面的坡度小于所述第二倾斜面的坡度。

可选地，所述接触探头呈球形结构，所述球形结构在所述第一倾斜面上移动时能与所述第一倾斜面相切。

本发明的第二方面，提供了一种机械手，包括机械手指和直线模组，所述直线模组用于驱动所述机械手指作直线往复运动，还包括至少一个前文记载的所述的限位结构。

可选地，还包括：